具有流量计的微型泵以及用于生产该微型泵的方法技术

本发明专利技术涉及一种具有可变形的膜片的微型泵，包括：第一室（15），所述第一室（15）的一个壁包括第一可变形的膜片部分和用于驱动所述第一膜片部分的装置（72，81，83）；第二室（11），所述第二室（11）设置有第二可变形的膜片部分（11＇）；以及第三室（13），所述第三室（13）设置有第三可变形的膜片部分（13＇），所述第二室和所述第三室通过第一通道（12）被相互连接到一起，所述第二室和所述第三室中的至少一个通过第二通道（12，14）被连接到所述第一室（15），其中，所述第二室（11）和所述第三室（13）都分别包括检测应变计装置（R1-R4，R＇1-R＇4），但没有设置驱动装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有流量计的微型泵以及用于生产该微型泵的方法
本专利技术涉及微流体的一般领域，并且涉及一种用于制造具有可变形的膜片的微型泵（该微型泵设置有具有可变形的膜片的流量计）的方法以及一种具有可变形的膜片的微型泵（该微型泵设置有流量计）。
技术介绍
微型泵提供了确保微通道中的流体受控流动的可能性。微型泵可存在于许多微流体系统中，例如作为示例地有芯片级实验室、用于注入医学物质的系统或用于冷却电子芯片的其它液压回路。根据微型泵是否机械地作用于关注的流体，流体流可以以不同的方式取得。不同技术的描述可在Nguyen等人于2002年在J.Fluid.Eng.，Vol.124，384–392中题为《微电子机械系统—微型泵：综述》的论文中找到。具有可变形的膜片的微型泵属于微型泵的第一类，其中机械作用通过所述膜片被应用到所述流体上以便导致所述微通道中的流体的移位。文献US2005/0123420描述了该微型泵的示例，所述微型泵包括三个可变形的膜片，所述三个可变形的膜片包括中心的泵膜片和两个上游的和下游的辅助膜片。如图1中示出的，所述微型泵包括第一基层110和第二基层120，所述第一基层110和所述第二基层12本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有可变形的膜片的微型泵，包括：第一室（15），所述第一室（15）的一个壁包括第一可变形的膜片和用于驱动所述第一膜片的装置（72，81，83），第二室（11）和第三室（13），所述第二室（11）设置有第二可变形的膜片（11＇），所述第三室（13）设置有第三可变形的膜片（13＇），所述第二室和所述第三室通过第一通道（12）被连接到一起，所述第二室和所述第三室中的至少一个通过第二通道（12，14）被连接到所述第一室（15），所述第二室（11）和所述第三室（13）中的每个都包括检测装置（R1?R4，R＇1?R＇4），所述检测装置（R1?R4，R＇1?R＇4）用于在所述微型泵中流动的流体的作用下检...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.04.28 FR 11536441.一种具有可变形的膜片的微型泵，包括：第一室(15)，所述第一室(15)的一个壁包括第一可变形的膜片和用于驱动所述第一膜片的装置(72，81，83)，第二室(11)和第三室(13)，所述第二室(11)设置有第二可变形的膜片(11＇)，所述第三室(13)设置有第三可变形的膜片(13＇)，所述第二室和所述第三室通过第一通道(12)被连接到一起，所述第二室和所述第三室中的至少一个通过第二通道(14)被连接到所述第一室(15)，所述第二室(11)和所述第三室(13)中的每个都包括检测装置(R1-R4，R＇1-R＇4)，所述检测装置(R1-R4，R＇1-R＇4)用于在所述微型泵中流动的流体的作用下检测相应的膜片部分的变形，但所述第二室(11)和所述第三室(13)中的每个都没有设置驱动装置，第一基层(20)，以及位于所述第一基层上方的第二基层(30)，所述第一基层和所述第二基层相互组装到一起，所述室(11，13，15)中的每一个在所述第一基层中形成并且位于所述第二基层下方，每个可变形的膜片在所述第二基层中形成，并且用于驱动所述第一膜片的所述装置被定位在所述第二基层的上表面上。2.根据权利要求1所述的微型泵，进一步包括至少一个第四室(9，17)，所述至少一个第四室(9，17)被连接到其它室(11，13，15)中的一个室并且设置有第四可变形的膜片和用于驱动所述第四膜片的装置(81，83，72)。3.根据权利要求1所述的微型泵，进一步包括：第四室(9)，所述第四室(9)通过通道(10)被连接到所述第二室(11)并且设置有第四可变形的膜片和用于驱动所述第四膜片的装置(81，83，72)，以及第五室(17)，所述第五室(17)通过通道(16)被连接到所述第一室(15)或所述第三室(13)并且设置有第五可变形的膜片和用于驱动所述第五膜片的装置(81，83，72)。4.根据权利要求3所述的微型泵，所述第四室和/或所述第五室、所述第四膜片和所述第四室的驱动装置和/或所述第五可变形的膜片和所述第五室的驱动装置形成一个阀或两个阀。5.根据权利要求3所述的微型泵，管路(51，52)通过以唇缘(56，56＇)加边的孔通向所述第四室(9)和/或所述第五室(17)的内部，所述唇缘(56，56＇)以与所述第四可变形的膜片和/或所述第五可变形的膜片平行的方式在所述第四室和/或所述第五室内部突出。6.根据权利要求1或3所述的微型泵：所述第二室(11)和所述第三室(13)中的每一个都设置有形成单臂电桥的4个应变计；或者，所述第二室(11)和所述第三室(13)中的每一个都设置有2个应变计，所述4个应变计形成单臂电桥并且可选地具有相同的额定值。7.根据权利要求1或3所述的微型泵：所述第二室(11)和所述第三室(13)都位于所述第一室(15)的相同侧，所述第二室(11)和所述第三室(13)中仅有一个通过所述第二通道(14)连接到所述第一室，或者，所述第二室和所述第三室位于所述第一室的两侧，所述第二室和所述第三室各自通过通道(12，14)被连接到所述第一室(15)。8.根据权利要求1或3所述的微型泵，不同的可变形的膜片是具有大体上恒定厚度的同一膜片的部分。9.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：Y·弗伊莱特，奥利维尔·富赫斯，
申请(专利权)人：原子能和替代能源委员会，
类型：
国别省市：