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本发明涉及一种具有可变形的膜片的微型泵，包括：第一室（15），所述第一室（15）的一个壁包括第一可变形的膜片部分和用于驱动所述第一膜片部分的装置（72，81，83）；第二室（11），所述第二室（11）设置有第二可变形的膜片部分（11＇）；以...
该专利属于原子能和替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过原子能和替代能源委员会授权不得商用。

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