一种坐标转换方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种坐标转换方法及装置，涉及划片机领域，解决映射关系不准确，影响图像处理算法的质量与效率，影响机器的精度的问题，其中，所述坐标转换方法包括：以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量；根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵；根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。通过划片机工作台非单向移动来确定像素，解决了图像像素坐标与工作台坐标之间映射的问题，提高映射的精准度。

【技术实现步骤摘要】
一种坐标转换方法及装置
本专利技术涉及划片机领域，特别是涉及一种坐标转换方法及装置。
技术介绍
划片机的视觉识别系统是以计算机为主的实时图像处理系统，操作人员或电脑对显示在屏幕上的晶圆图像进行识别分析，然后进行相应操作，通过对图像的处理实现工作台对实际晶圆的准确操作，这要求通过图像中的某个点能准确定位到实际晶圆片的相应位置，即实现图像像素坐标系统与工作台坐标系统之间的精准映射，对机器精度的影响至关重要。现有技术中存在如下技术问题，映射关系不准确，影响到图像处理算法的质量与效率，影响机器的精度。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种坐标转换方法及装置，解决映射关系不准确，影响到图像处理算法的质量与效率，影响机器的精度的问题。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供的一种坐标转换方法，其中，包括：以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量；根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵；根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。其中，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量的步骤包括：获得工作台以所述原点为起点，在x轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标；根据所述工作台在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量。进一步地，根据所述工作台在所述原点的坐标以及所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量的步骤具体为：通过公式：b1＝(Δx',Δy')＝(x'1-x'0,y'1-y'0)获得所述工作台第一工作台坐标差向量；其中，b1为第一工作台坐标差向量；Δx'为第一目标位置与原点的x轴方向的坐标差值；Δy'为第一目标位置与原点的y轴方向的坐标差值；x1'为第一目标位置的工作台的x轴方向的坐标，y1'为第一目标位置的工作台的y轴方向的坐标；x'0为工作台在原点x轴方向的坐标，y'0为工作台在原点y轴方向的坐标。其中，装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量的步骤包括：获得工作台以所述原点为起点，在x轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标；根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量。进一步地，根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量的步骤具体为：通过公式：a1＝(Δx,Δy)＝(x1-x0,y1-y0)获得所述第一图像坐标差向量；其中，a1为第一图像坐标差向量；Δx为第一目标位置与原点的x轴方向的坐标差值；Δy为第一目标位置与原点的y轴方向的坐标差值；x1为加工物的图像的坐标的x轴方向的坐标，y1为加工物的图像的坐标的y轴方向的坐标；x0为工作台在原点的x轴方向的坐标，y0为工作台在原点的y轴方向的坐标。其中，以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量之后，还包括：获取工作台坐标差向量集，包括所述第一工作台坐标差向量、第二工作台坐标差向量…第n工作台坐标差向量；以及获取图像坐标差向量集，包括所述第一图像坐标差向量、第二图像坐标差向量…第n图像坐标差向量。优选地，根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵获得坐标转换矩阵的步骤包括：根据Y＝X·A获得坐标转换矩阵；其中，且，Y为工作台坐标差向量矩阵，X为图像坐标差向量矩阵；a1，a2，a3…an分别为所述第一工作台坐标差向量、所述第二工作台坐标差向量…所述第n工作台坐标差向量；b1，b2，b3…bn分别为所述第一图像坐标差向量、所述第二图像坐标差向量…所述第n图像坐标差向量；A为所述坐标转换矩阵。相应的本专利技术实施例还提供了一种坐标转换装置，应用于划片机，其中，所述坐标转换装置包括：运动控制模块，用于以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量；第一处理模块，用于根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵；第二处理模块，用于根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。进一步地，所述运动控制模块包括：运动控制单元，用于获得工作台以所述原点为起点，在x轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标；第一获取单元，用于根据所述工作台在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量。进一步地，所述运动控制模块还包括：第二获取单元，用于根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量。本专利技术的上述技术方案的有益效果如下：本专利技术的方案中，在坐标系中找一点为原点，将工作台从原点移动到第一目标位置处，从而得到工作台的第一工作台坐标差向量以及加工物的图像的第一图像坐标差向量，通过第一工作台坐标差向量和第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵后，进行工作台的坐标与加工物的图像的坐标的转换，这样工作台的坐标与加工物的图像的坐标具有准确的映射关系，提高图像处理算法的质量与效率，同时提高机器的精度。附图说明图1为本专利技术的转换算法的基本步骤；图2为本专利技术的坐标系1示意图；图3为本专利技术的坐标系2示意图；图4为本专利技术的坐标系3示意图；图5为本专利技术的像素尺寸测量图案示例图；图6为本专利技术的转换装置的基本结构图。具体实施方式为使本专利技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。本专利技术提供一种坐标转换方法及装置，通过划片机工作台非单向移动来确定像素，解决了图像像素坐标与工作台坐标之间映射的问题，提高映射的精准度。如图1所示，本专利技术实施例提供的坐标转换方法，其中，包括：步骤1，以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量；其中，所述坐标系具有x轴和y轴，所述一点是坐标系中任意一点，取任意一点向预设的位置移动，即第一目标位置；所述图像是通过屏幕显示获取的。在工作台处于所取的原点时，通过屏幕中心十字与原点对齐，得到原点图像坐标和原点工作台坐标，然后工作台移动到第一目标位置，通过屏幕中心十字与第一目标位置对齐，得到目标位置图像坐标和目标位置工作台坐标，对应的坐标的x、y分量各自的作差，则目标位置工作台坐标与原点工作台坐标产生第一工作台坐标差向量，目标图像坐标与原点图像坐标产生第一图像坐标差向量。步骤2，根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵；其中，所述第一工作台坐标差向量转换为第一矩阵，对于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种坐标转换方法，其特征在于，包括：以一点为坐标系的原点，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量；根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵；根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。

【技术特征摘要】
1.一种坐标转换方法，其特征在于，包括：以一点为坐标系的原点，在工作台处于所取的原点时，通过屏幕中心十字与原点对齐，得到原点图像坐标和原点工作台坐标，然后工作台移动到第一目标位置，通过屏幕中心十字与第一目标位置对齐，得到第一目标位置图像坐标和第一目标位置工作台坐标；进而获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量以及装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量；根据所述第一工作台坐标差向量和所述第一图像坐标差向量，获得坐标转换矩阵；根据所述坐标转换矩阵，进行所述工作台的坐标与所述加工物的图像的坐标之间的转换。2.根据权利要求1所述的坐标转换方法，其特征在于，获得工作台从所述原点移动到第一目标位置的第一工作台坐标差向量的步骤包括：获得工作台以所述原点为起点，在x轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标；根据所述工作台在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量。3.根据权利要求2所述的坐标转换方法，其特征在于，根据所述工作台在所述原点的坐标以及所述第一目标位置的坐标，获得所述第一工作台坐标差向量的步骤具体为：通过公式：b1＝(Δx',Δy')＝(x′1-x'0,y′1-y'0)获得所述工作台第一工作台坐标差向量；其中，b1为第一工作台坐标差向量；Δx'为第一目标位置与原点的x轴方向的坐标差值；Δy'为第一目标位置与原点的y轴方向的坐标差值；x′1为第一目标位置的工作台的x轴方向的坐标，y1'为第一目标位置的工作台的y轴方向的坐标；x'0为工作台在原点x轴方向的坐标，y'0为工作台在原点y轴方向的坐标。4.根据权利要求1所述的坐标转换方法，其特征在于，装载在所述工作台上的加工物的图像从所述原点移动到所述第一目标位置的第一图像坐标差向量的步骤包括：获得工作台以所述原点为起点，在x轴方向上移动第一预定距离以及在y轴方向上移动第二预定距离后到达所述第一目标位置的坐标；根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及在所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量。5.根据权利要求4所述的坐标转换方法，其特征在于，根据所述加工物的图像在所述原点的坐标以及所述第一目标位置的坐标，获得所述第一图像坐标差向量的步骤具体为：通过公式：a1＝(Δx,Δy)＝(x1-x0,y1-y0)获得所述第一图像坐标差向量；其中，a1为第一图像坐标差向量；Δx为第一目标位置与原点的x轴方向的坐标差值；Δy为第一目标位置与原点的y轴方向的坐标差值；x1为加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓斌，孟繁滨，刘婷婷，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：