层压成形装置以及层压成形方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够由中间层压制品成形为厚度均匀的层压成形制品的层压成形装置以及层压成形方法。其中，具备：对层压件（Ａ１）和被层压件（Ａ２）进行层压而成形中间层压制品（Ａ３）的层压装置（１）；以预定温度对中间层压制品（Ａ３）进行加压、将其表面成形得平坦的平面压力机（２）；和运送单元（３），平面压力机（２）具备：固定模板（２０）以及可动模板（２１）；导引可动模板（３２）使得可动模板（２１）在与该对向面垂直的方向上直线移动的直动单元（２３），直动单元（２３）具备：多个滚珠花键轴（２４）；和设置在可动模板（２１）的角部、分别被滚珠花键轴（２４）插通的滚珠花键筒（２５）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及层压成形装置以及层压成形方法，更加具体而言，层压成形装置具备：通过对层压件和被层压件进行加热以及加压来层压中间层压制品的层压装置；以预定的温度对由该层压装置所层压的中间层压制品进行加压并将其表面成形为平面的平面压力机；和将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的运送单元，以及，层压成形方法是由层压装置对层压件和被层压件进行加热并且加压而层压中间层压制品，将该中间层压制品从层压装置运送至平面压力机，由平面压力机以预定的温度对所述中间层压制品进行加压并将其表面成形为平面的方法。
技术介绍
例如，在制造由多层构成的组合基板的情况下，反复进行：在由绝缘材料构成的基板上形成电路图案的工序；在该基板的电路图案上层压绝缘材料的工序；使绝缘材料固化的工序；在绝缘材料的表面形成电路图案的工序。为了在层压于基板的电路图案上的绝缘材料上还形成电路图案并层压绝缘原材料，有必要将在基板(被层压件)的电路图案上层压有绝缘材料(层压件)的制品的表面成形为平滑且整体的厚度均匀。另外，为了在基板(被层压件)的表面的绝缘材料上形成电路图案，在层压光致抗蚀剂(层压件)的情况下，也有必要将光致抗蚀剂的表面成形为平滑且整体的厚度均匀。但是，一般来说，作为在成为被层压件的基板的电路图案上所层压的层压件的绝缘材料，成形为薄膜状。基板的表面由于电路图案而形成有凹凸，为了使薄膜状的绝缘材料紧贴该表面而进行层压，则绝缘材料对应电-->路图案的凹凸而埋入，其表面并不平滑。于是，众所周知的层压成形装置(专利文献1以及专利文献2)是，与对层压件和被层压件进行加热并加压而层压在表面具有凹凸的中间层压制品的层压装置相邻，设置有以预定的温度对中间层压制品进行加压而使表面平滑地成形的平面压力机。在专利文献1公开了一种层压板的层压装置，其由在减压空间通过膜体对层压件和被层压件进行加压而成形中间层压制品的真空层压装置和配设在该真空层压装置的下一个工序的、对所述中间层压制品进行加压的平面压力机装置构成，其特征在于，在所述平面压力机装置具备：配设有热板的固定模板；配设有热板并与所述固定模板相对向的可动模板；在所述热板间对所述中间层压制品进行加热的多个加压机构；和将所述多个加压机构分为两个以上单独地进行控制的控制机构，或者使所述多个加压机构有选择地动作的控制机构等。另外，在专利文献1中还公开了一种层压板的层压装置，其特征在于，具备有配设在可动模板上的对角线的交点附近的第一加压机构；以及配设于所述可动模板的所述对角线的交点附近和所述可动模板的角部之间的、相对于被加压的中间层压制品的平面投影重叠的位置的第二加压机构等。而且，在专利文献1中记载有：进行在使可动模板上升的合模工序中只使配设于可动模板的大体中央的升压缸机构动作(0026)，在热板间夹持中间层压制品的大体同时，进行利用副气缸和主气缸的中间层压制品加压工序(0027)的内容。另外，在专利文献2中公开了一种层压方法，其特征在于，使用具有设置了附设挠性薄板3的上部板1以及附设挠性薄板4的下部板2的真空腔的真空层压装置6，在该腔内的上下板间成形由具有凹凸的基板5a和薄膜状树脂层5b构成的层压体5之后，使用具有上下冲压块的平面压力机装置9，在该上下冲压块之间一边对所得到的层压体5进行加热一边进行表面仿形加工，以及另一种层压方法，其特征在于，进一步在上下冲压块的至少一方的冲压块附设头部可以摇动的支持点结点10，该支持点结点10与油压缸或者气压缸11连接，使该冲压块动作，进而还公开了另一种特征-->在于头部可以摇动的支持点结点11是轴连接器的层压方法。而且，在专利文献2中记载有，“所谓表面仿形加工是指，从被冲压的工件即基板的厚度较厚位置的部分开始与冲压块的冲压面的一部分面接触，工件的厚度较薄位置的部分按顺序与冲压块的冲压面接触，在基板的整个表面与冲压面紧贴后以均匀的压力进行冲压加工的加工，而单纯的冲压不能够以沿着基板的厚度不均的形式将绝缘树脂成形为均匀厚度”等(0006)。还有，在专利文献2中记载有，通过所述构成，“对于基板的厚度不均，下部冲压块通过它们的气缸从基板的厚度较厚位置朝向较薄位置顺次地进行接触，由上下冲压块夹持进行冲压，能够沿着基板的厚度不均，形成均匀厚度的树脂厚度”等(0036)。还有，在专利文献2中记载有，“现有的层压方法，如图9所示，因为在基板上所层压的树脂组成物层的厚度并不一定(x≠Y)，所以在层压基板时基板间的绝缘性不同，在本专利技术中，在如图10所示的基板上所层压的树脂组成物层的厚度一定(x＝Y)”等(0069)。专利文献1：特开2005-66967号公报专利文献2：特开2002-36272号公报在专利文献1中，由于具备多个加压机构或者第一以及第二加压机构，能够提高热板之间的平行度、均匀地成形层压板的板厚，但是，存在花费平面冲压的制造成本，另外各加压机构的控制杂烦等问题。另外，在专利文献1中，在立设的四根连接杆上可滑动地配设可动模板，在可动模板和连接杆之间有细小的间隙(0015)，因此，由于可动模板相对于各连接杆的滑动而发生错位等导致不能够保证固定模板和可动模板之间的平行度，因此，有存在整体的厚度均匀地成形变得困难的可能性这样的问题。还有另外，在专利文献1中，由于从油压源通向四个副气缸的输油管的长度、弯曲程度的不同、气缸的密封装置的磨耗程度不同等问题，有在中间层压制品加压工序难以使四个副气缸完全地同步动作这样的问题。因此，在专利文献1中，当从合模工序向中间层压制品加压工序过渡时，即大体在热板14、15之间夹持中间层压制品的同时，开始利用所述副气缸的加压，在此时的加压初期，存在对中间层压制品不能均等地施加加压压力的可能性。-->另外，在专利文献2中，因为是在平面压力机的冲压块附设了头部可以摇动的支持点结点的构造，所以当冲压块因为支持点结点而摇动头部时，不能平行地保持两冲压块的加压面。还有，在专利文献2中，因为是通过“表面仿形加工”而将树脂组成层的厚度成形为一定的装置(参照专利文献2的图10)，所以不能够将基板和树脂组成层层压的部件的整体厚度成形为一定(参照专利文献2的图9)。另外，专利文献2中，因为从基板的厚度较厚位置的部分开始与冲压块的冲压面的一部分接触(0006)，所以存在被加热变得容易变形的树脂组成层从基板层溢出那样地流出，不能形成具有预定厚度的树脂组成层这样的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了优先解决上述的问题而做出的，其目的在于提供层压成形装置以及层压成形方法，通过简单的构成，在维持固定模板和可动模板的相互的加压面的平行度的状态下，可以相对于固定模板使可动模板在与对向面垂直的方向上直线移动，由此，能够由中间层压制品成形为均匀厚度的层压成形品。为了实现上述目的，技术方案一的层压装置所涉及的专利技术是一种层压成形装置，具备：通过对层压件和被层压件进行加热以及加压而层压中间层压制品的层压装置；以预定温度对由该层压装置所层压的中间层压制品进行加压并将其表面成形为平面的平面压力机；和将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的运送单元，其特征在于，所述平面压力机具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板及可动模板；使可动模板相对于固定模板可以靠近/远离地移动并对所述层压装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种层压成形装置，具备：通过对层压件和被层压件进行加热以及加压而层压中间层压制品的层压装置；以预定温度对由该层压装置所层压的中间层压制品进行加压、将其表面成形为平面的平面压力机；和将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的运送单元，其特征在于，　所述平面压力机具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板及可动模板；使可动模板相对于固定模板可以靠近／远离地移动、对所述层压装置所层压的中间层压制品加压的成形单元；和导引可动模板使得可动模板相对于固定模板在与该对向面垂直的方向上直线移动的直动单元，　该直动单元具备：沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴；和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒。

【技术特征摘要】
JP 2007-6-26 167610/20071.一种层压成形装置，具备：通过对层压件和被层压件进行加热以及加压而层压中间层压制品的层压装置；以预定温度对由该层压装置所层压的中间层压制品进行加压、将其表面成形为平面的平面压力机；和将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的运送单元，其特征在于，所述平面压力机具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板及可动模板；使可动模板相对于固定模板可以靠近/远离地移动、对所述层压装置所层压的中间层压制品加压的成形单元；和导引可动模板使得可动模板相对于固定模板在与该对向面垂直的方向上直线移动的直动单元，该直动单元具备：沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴；和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒。2.根据权利要求1所记载的层压成形装置，其特征在于，所述平面压力机的成形单元单一地与可动模板的中央接合。3.根据权利要求1或2所记载的层压成形装置，其特征在于，在所述平面压力机的可动模板的各角部设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：河野高幸，
申请(专利权)人：株式会社名机制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]