多级过滤装置制造方法及图纸

技术编号:9772855 阅读:67 留言:0更新日期:2014-03-16 15:53
多级过滤装置,由前盖、检修口、初级滤层、壳体、后盖、排气口、进气口、排污口、一级滤芯、二级滤芯组成,其特征是壳体的外部前端设置前盖,壳体的外部后端设置后盖,前盖的前端设置进气口,后盖的后端设置排气口,壳体的内部前端设置初级滤层,初级滤层的内侧设置一级滤芯,壳体的内部后端设置二级滤芯,本实用新型专利技术的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大,过滤效果较好,滤芯无需频繁更换,可有效设备的作业效率,降低生产成本。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
多级过滤装置
本技术属于晶体生长设备
,更具体的说是一种多级过滤装置。
技术介绍
目前,MOCVD作为一种LED外延片生产设备,其生产过程中将会产生一定量的废气,废气排出前,先经过滤车过滤处理,以免对环境造成污染,现有技术的过滤车内装有滤芯,可对流经气体进行过滤,现有技术的过滤车使用的GEN2滤芯成本较高,一次安装需前后级滤芯各8支,使用数量相对较多,增加了生产成本,而且过滤容量较小、过滤效果较差,并且滤芯需频繁更换,也同时影响了设备的正常运行,降低了设备的作业效率。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术提供了一种过滤容量较大、过滤效果较好、滤芯无需频繁更换、可有效设备的作业效率的多级过滤装置,其具体方案为:所述的多级过滤装置由前盖、检修口、初级滤层、壳体、后盖、排气口、进气口、排污口、一级滤芯、二级滤芯组成,其特征是壳体的外部前端设置前盖,壳体的外部后端设置后盖,前盖的前端设置进气口,后盖的后端设置排气口,壳体的内部前端设置初级滤层,初级滤层的内侧设置一级滤芯,壳体的内部后端设置二级滤芯。本技术所述的初级滤层,其特征在于初级滤层的上侧设置检修口,初级滤层的下侧设置排污口,初级滤层的内部设置滤网,滤网的材质采用陶瓷或不锈钢。本技术所述的一级滤芯,其特征在于一级滤芯的材质采用纤维。本技术所述的二级滤芯,其特征在于二级滤芯的材质采用滤纸。本技术的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大,过滤效果较好,滤芯无需频繁更换,可有效设备的作业效率,降低生产成本。【附图说明】附图1是本技术的结构示意图;附图1中: 1.前盖,2.检修口,3.初级滤层,4.壳体,5.后盖,6.排气口,7进气口.,8.排污口,9.一级滤芯,10.二级滤芯。【具体实施方式】结合附图1对本技术进一步详细描述,以便公众更好地掌握本技术的实施方法,本技术具体的实施方案为:所述的多级过滤装置由前盖1、检修口 2、初级滤层3、壳体4、后盖5、排气口 6、进气口 7、排污口 8、一级滤芯9、二级滤芯10组成,其特征是壳体4的外部前端设置前盖1,壳体4的外部后端设置后盖5,前盖I的前端设置进气口 7,后盖5的后端设置排气口 6,壳体4的内部前端设置初级滤层3,初级滤层3的内侧设置一级滤芯9,壳体4的内部后端设直二级滤芯10。本技术所述的初级滤层3,其特征在于初级滤层3的上侧设置检修口 2,初级滤层3的下侧设置排污口 8,初级滤层3的内部设置滤网,滤网的材质采用陶瓷或不锈钢。本技术所述的一级滤芯9,其特征在于一级滤芯9的材质采用纤维。本技术所述的二级滤芯10,其特征在于二级滤芯10的材质采用滤纸。本技术的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大,过滤效果较好,滤芯无需频繁更换,可有效设备的作业效率,降低生产成本。本文档来自技高网...

【技术保护点】
多级过滤装置,由前盖(1)、检修口(2)、初级滤层(3)、壳体(4)、后盖(5)、排气口(6)、进气口(7)、排污口(8)、一级滤芯(9)、二级滤芯(10)组成,其特征是壳体(4)的外部前端设置前盖(1),壳体(4)的外部后端设置后盖(5),前盖(1)的前端设置进气口(7),后盖(5)的后端设置排气口(6),壳体(4)的内部前端设置初级滤层(3),初级滤层(3)的内侧设置一级滤芯(9),壳体(4)的内部后端设置二级滤芯(10)。

【技术特征摘要】
1.多级过滤装置,由前盖(I)、检修口(2)、初级滤层(3)、壳体(4)、后盖(5)、排气口(6)、进气口(7)、排污口(8)、一级滤芯(9)、二级滤芯(10)组成,其特征是壳体(4)的外部前端设置前盖(1),壳体(4)的外部后端设置后盖(5),前盖(I)的前端设置进气口(7),后盖(5)的后端设置排气口(6),壳体(4)的内部前端设置初级滤层(3),初级滤层(3)的内侧设置一级滤...

【专利技术属性】
技术研发人员:王新阳陈建荣张继友
申请(专利权)人:冠铨山东光电科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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