【技术实现步骤摘要】
多级过滤装置
本技术属于晶体生长设备
，更具体的说是一种多级过滤装置。
技术介绍
目前，MOCVD作为一种LED外延片生产设备，其生产过程中将会产生一定量的废气，废气排出前，先经过滤车过滤处理，以免对环境造成污染，现有技术的过滤车内装有滤芯，可对流经气体进行过滤，现有技术的过滤车使用的GEN2滤芯成本较高，一次安装需前后级滤芯各8支，使用数量相对较多，增加了生产成本，而且过滤容量较小、过滤效果较差，并且滤芯需频繁更换，也同时影响了设备的正常运行，降低了设备的作业效率。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种过滤容量较大、过滤效果较好、滤芯无需频繁更换、可有效设备的作业效率的多级过滤装置，其具体方案为:所述的多级过滤装置由前盖、检修口、初级滤层、壳体、后盖、排气口、进气口、排污口、一级滤芯、二级滤芯组成，其特征是壳体的外部前端设置前盖，壳体的外部后端设置后盖，前盖的前端设置进气口，后盖的后端设置排气口，壳体的内部前端设置初级滤层，初级滤层的内侧设置一级滤芯，壳体的内部后端设置二级滤芯。本技术所述的初级滤层，其特征在于初级滤层的上侧设置检修口，初级滤层的下侧设置排污口，初级滤层的内部设置滤网，滤网的材质采用陶瓷或不锈钢。本技术所述的一级滤芯，其特征在于一级滤芯的材质采用纤维。本技术所述的二级滤芯，其特征在于二级滤芯的材质采用滤纸。本技术的有益效果是多级过滤装置过滤容量较大，过滤效果较好，滤芯无需频繁更换，可有效设备的作业效率，降低生产成本。【附图说明】附图1是本技术的结构示意图；附图1中: 1.前盖，2.检修口，3.初级滤层，4.壳...
【技术保护点】
多级过滤装置，由前盖（1）、检修口（2）、初级滤层（3）、壳体（4）、后盖（5）、排气口（6）、进气口（7）、排污口（8）、一级滤芯（9）、二级滤芯（10）组成，其特征是壳体（4）的外部前端设置前盖（1），壳体（4）的外部后端设置后盖（5），前盖（1）的前端设置进气口（7），后盖（5）的后端设置排气口（6），壳体（4）的内部前端设置初级滤层（3），初级滤层（3）的内侧设置一级滤芯（9），壳体（4）的内部后端设置二级滤芯（10）。
【技术特征摘要】
1.多级过滤装置，由前盖(I)、检修口(2)、初级滤层(3)、壳体(4)、后盖(5)、排气口(6)、进气口(7)、排污口(8)、一级滤芯(9)、二级滤芯(10)组成，其特征是壳体(4)的外部前端设置前盖(1)，壳体(4)的外部后端设置后盖(5)，前盖(I)的前端设置进气口(7)，后盖(5)的后端设置排气口(6)，壳体(4)的内部前端设置初级滤层(3)，初级滤层(3)的内侧设置一级滤...
【专利技术属性】
技术研发人员：王新阳，陈建荣，张继友，
申请(专利权)人：冠铨山东光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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