【技术实现步骤摘要】
MOCVD过滤装置
本技术属于晶体生长设备
，更具体的说是一种MOCVD过滤装置。
技术介绍
目前，公知的LED外延片生长设备一般采用的是M0CVD，生产过程中产生的废气由设备的端部排出，排放前先经过滤车过滤处理，以防对环境造成污染，现有技术的过滤车内装有滤芯，可对流经气体进行过滤，现有技术的过滤车多使用CT500纤维滤芯，成本较高，且过滤车内一般配置3支滤芯，过滤车结构导致滤芯使用周期较短，滤芯更换频繁，不仅增加了生产成本，而且降低了 LED外延片的生长产能。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种滤芯使用周期较长、生产成本较低、而且可有效提高LED外延片的生长产能的MOCVD过滤装置，其具体方案为:所述的MOCVD过滤装置由前盖、滤网层、壳体、排气口、后盖、进气口、检修孔、滤芯组成，其特征是壳体的前端设置前盖，壳体的后端设置后盖，前盖的中部设置进气口，壳体的后部设置排气口，壳体的内部设置滤芯，壳体的前部设置滤网层，滤网层的下侧设置检修孔。本技术所述的滤芯，其特征在于滤芯的材质采用纤维、滤纸、发泡塑料中的一种。本技术所述的滤网层，其特征在于滤网层内设置滤网，滤网的材质采用不锈钢。本技术的有益效果是MOCVD过滤装置的滤芯使用周期较长，生产成本较低，而且可有效提高LED外延片的生长产能。【附图说明】附图1是本技术的结构示意图；附图1中:1.前盖，2.滤网层，3.壳体，4.排气口，5.后盖，6.进气口，7.检修孔，8.滤芯。【具体实施方式】结合附图1对本技术进一步详细描述，以便公众更好地掌握本技术的实施方法，本技术具体的实施方案为...
【技术保护点】
MOCVD过滤装置，由前盖（1）、滤网层（2）、壳体（3）、排气口（4）、后盖（5）、进气口（6）、检修孔（7）、滤芯（8）组成，其特征是壳体（3）的前端设置前盖（1），壳体（3）的后端设置后盖（5），前盖（1）的中部设置进气口（6），壳体（3）的后部设置排气口（4），壳体（3）的内部设置滤芯（8），壳体（3）的前部设置滤网层（2），滤网层（2）的下侧设置检修孔（7）。
【技术特征摘要】
1.MOCVD过滤装置，由前盖(I)、滤网层(2)、壳体(3)、排气口(4)、后盖(5)、进气口(6)、检修孔(7)、滤芯(8)组成，其特征是壳体(3)的前端设置前盖(1)，壳体(3)的后端设置后盖(5)，前盖(I)的中部设置进气口(6)，壳体(3)的后部设置排气口(4)，壳体(3)的内部...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈建荣，王新阳，朱国胜，
申请(专利权)人：冠铨山东光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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