太阳能电池膜面开窗工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种太阳能电池膜面开窗工艺，属于太阳能光伏电池制造技术领域。主要特点是将腐蚀气体注入置有待开窗硅片的腔体内；腐蚀气体流量控制在0~5L/m。本发明专利技术主要采用能腐蚀SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到钝化和减反效果的薄膜)的气体(氢氟酸气体或添加有添加剂的氢氟酸气体的混合物等等所有能腐蚀这种薄膜的气体)来腐蚀膜面达到开窗的目的，高效的气体腐蚀速率，不仅产能高、工艺相对稳定适合量产，而且有效的克服了激光初次投入成本高和腐蚀浆料后期运营成本高的缺点。

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池膜面开窗工艺
本专利技术涉及一种太阳能电池膜面开窗工艺，属于太阳能光伏电池制造
。
技术介绍
太阳能电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后，已经制成PN结，可以在光照下产生电流，为了将产生的电流导出，需要在电池表面上制作正、负两个电极。以上是常规电池工艺的生产流程，随着产业化生产技术日益成熟，实验室的高效电池工艺也逐步运用于产业化生产，当前比较热门的高效电池工艺有:选择性发射极电池、背场钝化电池、交叉指型背接触电池(IBC电池)等，而这些电池工艺都有涉及到在镀有Si02(或SiNx/A1203/a-Si等所有能起到钝化和减反效果的薄膜)的膜面上进行选择性开窗工艺，目前大家一般采用激光按照一定的图形开窗或者用腐蚀浆料用特定图形网版采用丝网印刷把浆料印在膜面上用腐蚀浆料腐蚀这些膜面进而达到开窗的目的，但是激光设备价格昂贵，一次投入非常大，而腐蚀浆料虽然初始投入不高，但是浆料较贵，后期的运营投入大。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种太阳能电池膜面开窗工艺，解决上述现有技术存在的缺陷，通过本专利技术有效的克服激光设备初次投入成本高和腐蚀浆料后期运营成本高的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池膜面开窗工艺，其特征是，所述工艺是将腐蚀气体注入置有待开窗硅片的腔体内；腐蚀气体流量控制在0~5?L/m。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池膜面开窗工艺，其特征是，所述工艺是将腐蚀气体注入置有待开窗硅片的腔体内；腐蚀气体流量控制在0-5 L/m。2.根据权利要求1所述的太阳能电池膜面开窗工艺，其特征是，所述腐蚀气体为氢氟酸气体或添加有添加剂的氢氟酸气体的混合物。3.根据权利要求1所述的太阳能...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶权华，郑飞，
申请(专利权)人：中电电气扬州光伏有限公司，
类型：发明
国别省市：