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本发明涉及一种太阳能电池膜面开窗工艺，属于太阳能光伏电池制造技术领域。主要特点是将腐蚀气体注入置有待开窗硅片的腔体内；腐蚀气体流量控制在0~5L/m。本发明主要采用能腐蚀SiO2(或SiNx/Al2O3/a-Si等所有能起到钝化和减反效果的...
该专利属于中电电气（扬州）光伏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电电气（扬州）光伏有限公司授权不得商用。

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