本发明专利技术提出一种以Mac为基础的薄膜太阳能电池全球化工厂管理系统，其包括：一Mac作业系统服务器，其与多个薄膜太阳能电池生产工艺设备沟通连接，以获取所述各设备的生产工艺数据；至少一以Mac作业系统为基础的使用者端计算装置，其与所述服务器沟通连接以远距请求由服务器获取的生产工艺数据；以及至少一标准化远端统计工艺管制单元，其分别耦合到所述使用者端计算装置以读取及分析该工艺数据。本发明专利技术通过该服务器，及通过网际网络的一端连接量产及检测设备，另一端连接多个位于远端的使用者计算装置，以收集薄膜太阳能电池工艺品管检测数据，达到实时监控生产数据及变异的效果，具有降低现场操作人员成本及全球化远距监控的意义。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于用于量产薄膜太阳能电池的制造及远端检测控制设备，特别是关于薄膜太阳能电池工艺及检测数据控制的系统。
技术介绍
太阳能发电作为替代性能源来源的重要性，随全球气候变迁及新兴能源需求迫切而日益受重视。太阳能电池包括硅晶圆太阳能电池及非晶系硅太阳能电池，由于用以制备硅晶圆太阳能电池的多晶硅材料缺乏，加速薄膜太阳能电池等替代性方案产生。非晶系的薄膜太阳能电池具有材料成本远低于硅晶圆太阳能电池的优势，其制作过程是在塑胶、玻璃或金属基板上形成可产生光电效应的薄膜，厚度仅几μ m，相比于一般硅晶圆所需厚度200 μ m，在同一受光面积下，薄膜太阳能电池可较硅晶圆太阳能电池大幅减少硅原料用量。现行薄膜太阳能电池的量产制造设备，多由TFT-IXD产业设备架构引用，并没有对薄膜太阳能电池工艺进行最佳化或工艺需求的设计，所以设备成本居高不下，具有低成本优势的薄膜太阳能电池量产及控制设备，可提升竞争优势。降低薄膜太阳能电池产制成本，可由生产模块弹性化与工艺自动化共同达成。在工艺自动化方面，薄膜太阳能电池量产工艺一般可分为前段成膜工程工艺及后段模块组装工艺，由于薄膜太阳能量产设备的整厂输出方案多由前段设备的PECVD厂商主导，但对于后段模块封装的整合相对不完整。在检测的重要性方面，由于薄膜太阳能电池是在同一片基板设置模块，与晶片型太阳能电池模块使用不同片电池片加以串连及并连，两者具有差异，所以在硅薄膜太阳能电池生产制造过程中，品质检测控制为重要的议题。对于自动化工厂管理上，统计工艺管制(SPC)具有重要意义，其采用PC做数据输入及绘制图表，并能适时根据变异控制，因应生产需求变化做出弹性调整。又，由于网际网络普及化，有利于远距离的操作端对于工厂工艺的远端工艺监控，避免无自动化且仰赖大量人工进行工艺管制。因此，为降低薄膜太阳能电池量产工艺成本，有必要结合统计工艺管制、远端工艺监控于薄膜太阳能工厂管理上，以提升竞争优势。
技术实现思路
本专利技术提出一种以Mac为基础的薄膜太阳能电池全球化工厂管理系统，其包括 一 Mac作业系统服务器，其与多个薄膜太阳能电池生产工艺设备沟通连接，以获取所述各设备的生产工艺数据；一或多个以Mac作业系统为基础的使用者端计算装置，其与所述服务器沟通连接以请求由服务器获取的生产工艺数据；以及一或多个标准化远端统计工艺管制单元，其分别耦合到所述一或多个使用者端计算装置以读取及分析该工艺数据。前述耦合到所述一或多个使用者端计算装置的一或多个标准化远端统计工艺管制单元，还包括一标准化的数据格式输出单元，以使所述一或多个使用者端计算装置之间以及所述一或多个使用者端计算装置与所述服务器之间可以互相沟通；以及，一标准化接口，其提供信息以使所述使用者从远端实时监视所述工艺。前述标准化数据格式输出单元，可以标准化格式输出下列图表格式的一或多者， 以建立数据管理架构，其包括一直方图、一查检表、一柏拉图、一散布图。前述标准化统计工艺管制单元，还包括一生产控制单元，其通过一标准化接口与前述标准化数据格式输出单元相连接。前述输出单元将标准数据格式输出显示于标准化接口，且在所述标准数据格式中出现品管变异时，所述生产控制单元将对所述一或多个使用者传送一通知，以便于所述一或多个使用者通过网际网络连线对生产端服务器进行远端变异控制。前述以Mac作业系统为基础的使用者端计算装置，还包括一远端存取控制单元， 在所述一或多个使用者接收前述品管变异时，可通过所述远端存取控制单元，远端控制所述Mac作业系统服务器。前述该一或多个以Mac作业系统为基础的使用者端计算装置，可为以下其中之一或多者一以Mac作业系统为基础的桌上型计算装置；一以Mac作业系统为基础的膝上型计算装置；及一以Mac作业系统为基础的手持通信装置。本专利技术通过利用该MAC服务器，及通过网际网络一端沟通连接薄膜太阳能电池量产及检测设备系统，另一端连接多个位于远端的使用者计算装置，使该使用者计算装置能通过一标准化接口向服务器随时请求收集薄膜太阳能电池工艺品管检测数据，达到实时监控生产数据及变异的效果，即具有降低现场操作人员成本及全球化远距监控的意义。附图说明图1为已知的薄膜太阳能电池的量产及检测设备系统方框图；图2为依据本专利技术的一具体实施例的薄膜太阳能电池全球化工厂管理系统的示意图；图3为依据本专利技术的一具体实施例的以Mac作业系统为基础的使用者端计算装置的系统示意图；图4为依据本专利技术的一具体实施例的标准化的数据格式输出单元所输出的直方图数据格式示意图；图5为依据本专利技术的另一具体实施例的标准化的数据格式输出单元所输出的散布图数据格式示意图。附图标号101清洗设备102TCO薄膜沉积设备103激光切割设备104硅薄膜镀膜设备105激光切割设备106背电极制作设备107激光切割设备108组合设备109封装设备110产品光能效率测量设备111基本Voc定性测量设备112玻璃自动光学检测设备123玻璃自动光学检测设备201--AMac使用者端计算装置201--BMac使用者端计算装置201--NMac使用者端计算装置202网络203Mac服务器300Mac使用者端计算装置301统计工艺管制单元302标准化格式输出单元303标准化接口304生产控制单元305远端存取控制单元306通信接口307处理器308主存储器309储存装置310总线311网络服务提供者具体实施例方式本专利技术前述目的或特征，将依据后附附图加以详细说明。但需理解的是，后附附图及所举示例，只是作为说明而非在限制或限缩本专利技术。虽然本专利技术将参阅含有本专利技术具体实施例的所附附图予以充分描述，但在此描述之前应了解，本领域技术人员可以修改本文中所描述的专利技术，同时获致本专利技术的功效。因此，需了解以下的描述对本领域技术人员而言为一广泛的揭示，且其内容不在于限制本专利技术。图1为已知的薄膜太阳能电池的量产及检测设备系统方框图。设备101中，载入玻璃基板(substrate)于机台后，必须先进行清洗工艺，去除玻璃表面的粉尘、污渍或其他有机物。于设备102，进行前电极制作，先于玻璃基板上利用物理汽相沉积(PVD)或低压化学汽相沉积(LPCVD)进行玻璃表面透明导电薄膜(TCO)沉积，再以激光切割分离玻璃基板上的TCO膜成为独立的区块(设备103)。于设备104，进行硅薄膜制作，先预热玻璃基材，待升温到200°C 300°C，再以等离子体辅助汽相镀膜设备(PECVD)进行薄膜沉积，依硅薄膜太阳能电池结构不同设计进行 P-I-N层镀膜。镀膜结束后进行冷却(cooling)，接着于设备105对P-I-N层镀膜进行第二道激光切割。在设备106进行背电极制作，利用物理汽相沉积设备制作进行SiO+Al溅射工艺。在设备107，进行背电极图案制作，利用激光切割分离背电极，至此薄膜太阳能电池制作完成。设备108及109，进行薄膜太阳能电池组合及封装。硅薄膜太阳能电池工艺的检测设备，一般配置有“实时线上检测”设备及“离线线上检测”设备。“实时线上检测”设备，包括112、123玻璃自动光学检测设备(automatic optical inspection, AOI)，用以在玻璃来料缺陷检测以及第一道激光处理后切割结果检测；第三道激光切割后(107)，完整的前段成膜本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种以Ｍａｃ为基础的薄膜太阳能电池全球化工厂管理系统，其特征在于，所述系统包括：一Ｍａｃ作业系统服务器，其与多个薄膜太阳能电池生产工艺设备沟通连接，以获取所述各设备的生产工艺数据；一或多个以Ｍａｃ作业系统为基础的使用者端计算装置，其与所述服务器沟通连接以请求由服务器获取的生产工艺数据；及一或多个标准化统计工艺管制单元，其分别耦合到所述一或多个使用者端计算装置以读取及分析所述工艺数据，其包括：一标准化的数据格式输出单元，其可输出标准化数据格式，以使所述一或多个使用者端计算装置之间以及所述一或多个使用者端计算装置与所述服务器之间可以互相沟通；及一标准化接口，其提供信息以使所述使用者从远端实时监视所述工艺。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张一熙，
申请(专利权)人：亚洲太阳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：HK
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