用于薄膜太阳能电池制造工艺的手动执行方法技术

本发明专利技术公开了一种用于薄膜太阳能电池制造工艺的手动执行方法。其中包含了制造工艺人员为在制品决定机台、批货传送、载入、选择制造工艺参数及载出等步骤，以获得较佳的制造工艺弹性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种流程方法，尤其涉及一种用于薄膜太阳能电池制造工艺的流程方法，可以人工方式决定并执行制造工艺中的各个步骤以获得较佳的制造工艺弹性与效率。
技术介绍
薄膜太阳能电池，顾名思义，乃是在塑胶、玻璃或是金属基板上形成可产生光电效应的薄膜，其厚度仅需数μ m,因此在同一受光面积下可较硅晶片太阳能电池大幅减少原料的用量。薄膜太阳能电池并非是新的概念性专利技术，实际上，以往在外太空人造卫星设备的应用方面早已普遍采用砷化镓(GaAs)所制造的高转换效率薄膜太阳能电池板(以单晶硅作为基板，转换效能在30%以上)来进行发电。薄膜太阳能电池可在价格低廉的玻璃、塑胶或不锈钢基板上大量制作，以生产出大面积的太阳能电池，而其制造工艺可直接导入现今已经相当成熟的液晶显示器面板(TFT-IXD)生产技术，此为其优点之一。以时下TFT-IXD五代厂面板的规格而言，其玻璃面板的尺寸可达1. ImX 1.細，若以一般的玻璃面板作为薄膜太阳能电池的基板，其大尺寸的面积势必造成搬运上的不便。故传统上业界多以高效率免人力的自动化传输系统来进行玻璃基板的传输运送。此作法不只可以节省人力作业的时间与成本以有效地提高生产效率外，更可减少制造工艺中人为疏失的发生率。在现今半导体产业的制造厂房中，无人搬运车(automated guided vehicle, AGV)为自动化传输系统中常用的搬运设备。其特色为可接受各工作站或人员的指派将在制品(WIP，Work In Process)或产品送至一定点位置或站点进行后续流程，不需特别派遣其他人力来进行此运送作业。再者，无人搬运车在派送至定点后可进一步自动与传送带 (conveyor)、机械手臂(robot)等其他自动化传输组件合作以将在制品或产品自动载入/ 载出机台或厂房。自动搬运车的好处在于全程自动化，其制造工艺可以在无人引导操作或在系统控制的状态下自动进行，可节省可观人力成本。如上所述，自动化系统虽具有许多强势的优点，然在工厂实际的制造工艺环境中， 有不少因素会严重影响甚或使整个自动化系统运作失效。以无轨式的无人搬运车为例，其是不具实体轨道而通过特殊的磁带或无阻碍式感应点方式而可在厂区内外自由移动，但在行进路径上有物体挡住的情况下，无人搬运车的检测与闪避功能未必能避开障碍物而到达指定定点。而就有轨式无人搬运车而言，其虽不具障碍物阻碍的问题，然轨道损坏、拥塞、等待派车等常见状况更会使得货品的自动传输机制失效、耗时等。再者，自动化系统最为人诟病的缺点在于缺乏一定的制造工艺弹性，其系统一般而言是通过一系列预先设定好的制造工艺流程与参数、条件式来维持其运作。然实际制造工艺中常会有各式各样的突发状况发生，自动化系统虽有着自动化的好处，但却无法应付此些突发状况而予以适时的应变。例如，在自动化传输系统将在制品派送至机台期间，机台若发生制造工艺或机台异常(alarm) 将会使整段制造工艺步骤停摆，此时无法将在制品送入或载出机台的自动传输系统亦然跟着停摆。而就制造工艺弹性而言，如果工厂的制造工艺人员欲改变某道制造工艺配方 (recipe)或站点的条件设定，如进行制造工艺槽位、片数或腔体等细项变更，或是临时改变站点的预设机台等，其须透过一控制系统进行自动化制造工艺的修改。然该改变预设流程的修改动作可能需要权限单位的允许，抑或该修改动作可能耗时费工，不及反应生产线上连续性制造工艺的时程与应变。在此类状况下，自动化系统反而会成为妨碍制造工艺效率与弹性的因素。此外，由于自动化系统需要各种精密、高技术的设备或元件才得以实行，其建置成本所费不赀，且更须配置部分控管人员来管理或修改系统的设定以维持运作，从传统的角度来看颇为费时费工。现今太阳能电池产业正在往自动化技术发展，惟基于前述理由，目前业界仍无法克服自动化流程先天上的缺憾。故此，如何解决并改进薄膜太阳能电池制造工艺中自动化传输与制造工艺执行技术易遭遇到的问题，为现今太阳能电池业界须加以研究的课题，以期能增进制造工艺整体的弹性，进而增加太阳能电池生产的效率。
技术实现思路
根据上述所言的缺点，本专利技术提出了一种。其中包含了制造工艺人员取代自动化控制系统为在制品决定机台、批货传送、载入、选择制造工艺参数及载出等步骤，以获得较佳的制造工艺弹性与方便度。在本专利技术的一观点中，制造工艺人员以手持或推车牵引等手动方式将批货传送至制造工艺机台处。在本专利技术另一观点中，制造工艺人为批货选择进行制造工艺的机台、槽位、站点及制造工艺配方等。本专利技术的一目的在于提供一种用于大型薄膜太阳能电池制造工艺的手动执行方法，其通过人工判断、选择或执行的方式达成较佳的制造工艺弹性并能应变各种突发状况。本专利技术另一目的在于提供一种用于大型薄膜太阳能电池制造工艺的手动执行方法，其可采用现有可得的人力资源来执行制造工艺工作以节省部分建置自动化设备所需的成本。本专利技术的其他系统、方法、特征及优点都将在检视后续的附图与详细叙述中变得愈加明显。其意欲将所有这些额外的系统、方法、特征及优点都含括于此描述与本专利技术的范畴之中，并由权利要求范围所保护。此节中不应有任何事物、用语被视为是对所属权利要求范围的限制。附图说明此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本专利技术的限定。在附图中图1为本专利技术制造工艺执行方法的步骤流程图。附图标号100，101，102，103 步骤具体实施例方式参阅附图与描述将可更了解本专利技术的系统及方法。文中未详列暨非限制性的实施例则请参考附图的描述。附图中的组成元件并不一定符合比例，而是以强调的方式描绘出本专利技术的原理。在附图中，相同的元件在不同图示中标出相同对应的部分。请参照图1，其为本专利技术制造工艺手动执行方法的步骤流程图。首先在步骤100 中，不采用一般以系统自动指派机台的方式，而使一制造工艺人员为欲进行制造工艺的在制品选择一机台来进行制造工艺，该机台的选择是根据制造工艺人员对各机台的情形，如批货排程、产能、跑货时数、或异常状态等来判断决定。举例言之，假使一在制品目前在此制造工艺站点共有十台的可用的制造工艺机台供以选择使用。此时制造工艺人员可查看各机台的状况以进行选择，如首先撇除正处于异常状态、无法跑货的机台，如发生警报、正进行维护工作(Preventive Maintenance)的机台。接着从其他机台中选出批货排程(Queue Lot)较少的机台，以平均分配各机台的负荷量并增进整体产能。之后，制造工艺人员可进一步查看剩余可选机台的跑货时数或品质表现以决定其制造工艺机台，例如某些机台以届维修时限、或在该段制造工艺中该机台的完成品品质量率较差、又或该机台容易发生异常状态等，制造工艺人员可根据这类信息优先剔除特定的机台选择。其他各种关于机台选择的判定条件亦可为制造工艺人员采用，如距离远近、人为工作排程、特殊制造工艺等，端视制造工艺人员决定。在步骤101中，有别于一般制造工艺人员经由一控制接口下达指令或系统自动将批货送至机台处的方式，当制造工艺人员为在制品选择制造工艺机台后，制造工艺人员会以手动方式将该在制品传送至该选择的制造工艺机台处。举例言之，本实施例的在制品通过制造工艺人员以手持或手推车牵引等手动方式将批货人工送至机台位置处，而非经由无人搬运车或专用轨道等自动化传输设本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于薄膜太阳能电池制造工艺的手动执行方法，其特征在于，所述的手动执行方法包含下述步骤：一制造工艺人员为一薄膜太阳能电池在制品选择一欲进行制造工艺的机台；所述制造工艺人员以手动传送方式将所述在制品导引移动至所述机台位置处；所述制造工艺人员在所述机台上选择欲进行制造工艺的各项制造工艺参数并手动将所述部分或全部的在制品载入所述机台中并开始所述制造工艺；及在所述制造工艺结束后，制造工艺人员手动将所述机台中的在制品载出并导引移动至下个站点。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张一熙，
申请(专利权)人：亚洲太阳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：HK