基于空间平移变换的数字差动共焦测量装置与方法制造方法及图纸

基于空间平移变换的数字差动共焦测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；该装置与方法利用单共焦探测器的输出结果，通过空间平移变换的数字处理方法，重构出两个虚拟的数字差分信号，完成整个差动共焦测量；本发明专利技术具有下述优点：两虚拟差动信号光电转换特性曲线一致，两个虚拟针孔的空间位置完全对称；原始数据获取于准焦平面位置；可以更改虚拟针孔离焦量。有效避免了现有技术方法中由于使用两路差分光路所引入的各类非线性和非共模噪声，以及离焦量无法匹配不同物镜切换的限制。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于空间平移变换的数字差动共焦测量装置，其特征在于：包括激光器（1）、聚焦透镜（2）、照明针孔（3）、准直透镜（4）、偏振分光棱镜（5）、四分之一波片（6）、显微物镜（7）、被测样品（8）、载物台（9）、管镜（10）、探测针孔（11）和光电探测器（12）；激光器（1）发出的平行光束经过聚焦透镜（2）汇聚进入置于聚焦透镜（2）前焦平面处的照明针孔（3），照明针孔（3）同时置于准直透镜（4）的后焦平面处，从照明针孔（3）出射的发散光束经过准直透镜（4）形成平行光束，由偏振分光棱镜（5）反射，依次经过四分之一波片（6）和显微物镜（7）聚焦在载物台（9）上的被测样品（8）表面，形成点照明光路；被测样品（8）将照明光束反射，依次通过显微物镜（7）、四分之一波片（6）、偏振分光棱镜（5）和管镜（10）后，汇聚到置于管镜（10）前焦平面的探测针孔（11），并被光电探测器（12）收集，形成点探测光路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俭，谭久彬，王宇航，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：