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基于空间平移变换的数字差动共焦测量装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；该装置与方法利用单共焦探测器的输出结果，通过空间平移变换的数字处理方法，重构出两个虚拟的数字差分信号，完成整个差动共焦测量；本发明具有下述优点：两虚拟差动信...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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