【技术实现步骤摘要】
一种针对开膜腐蚀性浆料的清洗工艺
本专利技术涉及一种浆料的清洗工艺,特别是一种针对开膜腐蚀性浆料的清洗工艺。
技术介绍
目前晶硅电池的背钝化技术是提高晶硅电池转换效率的有效手段之一,现已得到各公司的大力推广应用。该技术主要采用SiNx、Si0x或A1203作为背场钝化膜,后通过化学腐蚀或者激光开孔的方法形成开口区域。这种技术的主要优点有:大大提高背场钝化能力;提高了背场反射能力,提高了对长波光的吸收利用。同时由于激光开孔存在激光损伤大、设备投资大等原因,行业普遍使用化学腐蚀开孔法,化学腐蚀法主要通过丝网印刷的方式将腐蚀浆料印刷至硅片表面,然后在高温条件下与SiNx , SiOx, Al2O3反应,形成开孔区域。腐蚀浆料的主要成分是磷酸(H3P04),可以与SiNx , SiOx, Al2O3进行反应。传统腐蚀浆料的清洗方案仅采用超声波水洗的方式,存在清洗时间长、清洗效果差的缺点。
技术实现思路
专利技术目的:本专利技术的目的在于解决现有技术针对开膜腐蚀性浆料的清洗工艺清洗效果差、时间长的问题。
技术实现思路
:本专利技术提供以下技术方案:一种针对开膜腐蚀性浆料的清洗工艺,包括以下步骤: 1)硅片经过高温处理后,在30秒内快速投入装有清水的水槽中,静置5~10分钟; 2)将经过步骤I处理的硅片投入装有清水的超声波水槽,清洗15~30分钟,超声波功率100(T3000W ; 3)将经过步骤2处理的硅片投入装有体积比浓度为5~30%的有机溶剂的水槽中,超声波清洗10~40分钟; 4)将经过步骤3处理的硅片投入去离子水中浸泡清洗5~10分钟。作为 ...
【技术保护点】
一种针对开膜腐蚀性浆料的清洗工艺,其特征在于:包括以下步骤:1)硅片经过高温处理后,在30秒内快速投入装有清水的水槽中,静置5~10分钟;2)将经过步骤1处理的硅片投入装有清水的超声波水槽,清洗15~30分钟,超声波功率1000~3000W;3)将经过步骤2处理的硅片投入装有体积比浓度为5~30%的有机溶剂的水槽中,超声波清洗10~40分钟;4)将经过步骤3处理的硅片投入去离子水中浸泡清洗5~10分钟。
【技术特征摘要】
1.一种针对开膜腐蚀性浆料的清洗工艺,其特征在于:包括以下步骤: 1)硅片经过高温处理后,在30秒内快速投入装有清水的水槽中,静置5?10分钟; 2)将经过步骤I处理的硅片投入装有清水的超声波水槽,清洗15?30分钟,超声波功率100(T3000W ; 3)将...
【专利技术属性】
技术研发人员:王明明,奚彬,陈同银,刘仁中,张斌,邢国强,
申请(专利权)人:奥特斯维能源太仓有限公司,
类型:发明
国别省市:
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