沉积方法及装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】沉积方法及装置
本专利技术涉及一种将由有机原始材料构成的层沉积到基底上的方法，其中，以载气流为输入气流将悬浮粒子形式的该有机原始材料送入蒸发器，该悬浮粒子在该蒸发器内与经加热的传热面接触并在经过一段与该传热面的温度有关的平均停留时间后蒸发，其中，以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器送入处理室，该蒸气在该处理室内在基底表面上发生冷凝并形成该层。本专利技术还涉及一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置，其形式为一容器，该容器具有用于输入气流的进气口、用于输出气流的出气口及设于内部的传热面，其中，该传热面可借助热能流加热至某一温度，在此温度下，经该进气口被送入该容器的该悬浮粒子在与该传热面接触时蒸发成有机蒸气，该有机蒸气经该出气口离开该容器。本专利技术还涉及一种用于以上述的蒸发器沉积OLED的装置。
技术介绍
US7, 238，389B2记载了一种同类型方法及同类型装置。其中用气溶胶发生器产生气溶胶。该气溶胶由被送入载气流的粉末构成。载气流将悬浮粒子形式的气溶胶粒子从气溶胶发生器送往蒸发器。该蒸发器由固态泡沫构成，将该固态泡沫加热至蒸发温度。通过悬浮...
【技术保护点】
一种将由有机原始材料构成的层沉积于基底(11)上的方法，其中，将在载气气流中气溶胶悬浮粒子形式的有机原始材料送入蒸发器(1)，其中，所述悬浮粒子在所述蒸发器内与由温控装置加热的传热面(15)接触并在经过一段亦与该传热面(15)的温度有关的平均停留时间后蒸发，从而以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器(1)送入所述处理室(10)中，其中，所述蒸气在所述处理室内于所述基底(11)的表面上发生冷凝并形成层，其特征在于，改变所述传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化(c)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.06.22 DE 102011051261.61.一种将由有机原始材料构成的层沉积于基底(11)上的方法，其中，将在载气气流中气溶胶悬浮粒子形式的有机原始材料送入蒸发器(1)，其中，所述悬浮粒子在所述蒸发器内与由温控装置加热的传热面(15)接触并在经过一段亦与该传热面(15)的温度有关的平均停留时间后蒸发，从而以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器(1)送入所述处理室(10)中，其中，所述蒸气在所述处理室内于所述基底(11)的表面上发生冷凝并形成层，其特征在于，改变所述传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化(c)。2.按权利要求1或尤其是如下所述的方法，其特征在于，在所述停留时间内包含于所述蒸发器(1)内的尤其是未蒸发原始材料的质量形成缓冲质量，所述缓冲质量通过所述温度变化而这样地发生变化，使得进入所述蒸发器(1)的原始材料质量流量随时间的波动得到补偿。3.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其特征在于，将利用所述输出气流内的传感器(13)所测定的且与所述蒸气在所述载气内的流量或分压对应的值作为调节变量传输给调节回路(14)，所述调节回路(14)将提供给所述传热面(15)的加热能流作为调节变量加以改变。4.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其特征在于，所述调节回路(14)的响应时间比所述未蒸发有机原始材料在所述蒸发器(1)内的平均停留时间短尤其是5或10倍。5.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其特征在于，所述传热面(15)的温度变化率至少为5°C/s，优选至少为10°C /s，通过改变该加热能流可使该温度变化 ±10°C。6.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其特征在于，具有一脉冲式输入气流，其中，所述脉冲间的时间短于该平均停留时间。7.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其中，所述传热面(15)由开放孔状的固态泡沫的预定的孔的形成开放式小腔壁的接片构成，所述固态泡沫尤其构成形成蒸发器(1)的壁的容器。8.按前述权利要求一项或多项或尤其是如下所述的方法，其中，所述固态泡沫(15)或所述固态泡沫的涂层导电，并且给所述固态泡沫(15)或所述涂层通电以实现电阻加热。9.一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置，其形式为一容器(1)，该容器具有用于输入气流的进气口(18)、用于输...
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