下载沉积方法及装置的技术资料

文档序号:9741514

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本发明首先涉及一种在基底(11)上沉积由有机原始材料构成的层的方法,其中,将有机原始材料作为形式为载气流中的悬浮粒子的气溶胶送入蒸发器(1),所述悬浮粒子从而在该蒸发器内与由温控装置加热的传热面(15)接触并在经过一段亦与该传热面(15)的...
该专利属于艾克斯特朗欧洲公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾克斯特朗欧洲公司授权不得商用。

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