一种天线长度可调的光电电场传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种天线长度可调的光电电场传感器，属于电场测量技术领域。本电场传感器包括铌酸锂基片、光波导、硅基片、调制电极、接触电极、天线等部件。铌酸锂基片粘接在盒体底部，硅基片粘接在铌酸锂基片的两侧，光波导附着在铌酸锂基片的表面，调制电极附着在铌酸锂基片表面光波导的两侧，接触电极附着在铌酸锂基片表面两个调制电极的两侧，连接电极附着在硅基片的表面，天线的一端通过天线固定套管固定在盒体上，天线的另一端伸出盒体。本电场传感器将探测天线与传感器本体相分离，提高了电场测量的灵敏度和动态范围；探测天线位于传感器盒体之外，可实现潮湿环境下电场的准确测量。

【技术实现步骤摘要】
一种天线长度可调的光电电场传感器
本专利技术涉及一种天线长度可调的光电电场传感器，属于电场测量
。
技术介绍
随着输电电压等级的不断增高，光电电场传感器由于具有电磁兼容性强、对源场干扰小等优点，逐渐成为强电场测量的理想工具，在长空气间隙放电研究、绝缘子故障检测研究和电磁环境研究等方面发挥着日益重要的作用。近年来，随着集成光学的发展，国内外学者对光电电场传感器进行了大量的研究，研发了区别于分立器件光电电场传感器的集成光电电场传感器。已有基于集成共路干涉仪电场传感器的电场测量系统的最小可测场强约为1000V/m。电力系统电场测量领域的幅值通常为lV/m?105V/m，该类型传感器的灵敏度过低，限制了其在电力系统中的应用。为了提高光电电场传感器的灵敏度，可以外加探测天线，通过加长探测天线长度提高传感器灵敏度；外加探测天线长度决定了管壳的大小，为了保证较小的体积，探测天线长度不能过长，这是一对矛盾； 申请人:曾经提出了名称为:“一种基于公路干涉的集成电场传感器”、申请号为:201210348311.8的专利申请，公开了一种探测单元与调制单元分离固定于管壳内的集成电场传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种天线长度可调的光电电场传感器，其特征在于该光电电场传感器包括盒体、盒盖、铌酸锂基片、光波导、两个硅基片、两个调制电极、两个接触电极、两个连接电极和两个天线；所述的铌酸锂基片粘接在盒体底部的中央，两个硅基片粘接在铌酸锂基片的两侧，所述的光波导通过金属扩散方法附着在铌酸锂基片的表面，所述的两个调制电极通过光刻方法对称附着在铌酸锂基片表面光波导的两侧；所述的两个接触电极通过光刻方法对称附着在铌酸锂基片表面两个调制电极的两侧，两个调制电极分别通过连接导线与接触电极相连接；所述的两个连接电极分别通过光刻方法附着在两个硅基片的表面，两个连接电极分别通过金丝球焊与两个接触电极实现电气连接；所述的两个天线...

【技术特征摘要】
1.一种天线长度可调的光电电场传感器，其特征在于该光电电场传感器包括盒体、盒盖、铌酸锂基片、光波导、两个硅基片、两个调制电极、两个接触电极、两个连接电极和两个天线；所述的铌酸锂基片粘接在盒体底部的中央，两个硅基片粘接在铌酸锂基片的两侧，所述的光波导通过金属扩散方法附着在铌酸锂基片的表面，所述的两个调制电极通过光刻方法对称附着在铌酸锂基片表面光波导的两侧；所述的两个接触电极通过光刻方法对称附着在铌酸锂基片表面两...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾嵘，李婵虓，牛犇，俞俊杰，余占清，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：