磁流体密封件真空度检测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了磁流体密封件真空度检测系统，包括:真空腔、与真空腔连接的前级泵、分子泵、真空计及与所述真空计连接的真空计显示器，所述真空腔底部固定在工作台上；所述前级泵、分子泵与所述真空腔连接处设有真空阀门。本实用新型专利技术的磁流体密封件真空度检测系统，更好的保证了磁流体密封件在极限耐真空度这一指标的检测精度，简单的连接和操作方法使系统能够较好的运用在磁流体密封件的产线上。更加有利于从行业的角度规肃磁流体密封件耐真空度这一指标，使磁流体密封件的真空度指标检测做到有迹可循。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
磁流体密封件真空度检测系统
本技术涉及一种磁流体密封件真空度的检测装置，尤其涉及真空度要求高时的磁流体密封件极限耐真空度检测的磁流体密封件真空度检测系统。
技术介绍
磁流体密封件的使用领域通常是真空密封行业，一些工况下，对真空度的要求较为严格，真空度较高。在目前的磁流体密封件领域，普遍的检测项目是采用氦质谱检漏仪进行的密封件泄露检测，其精度可达到IXlO-1OPa.m3/sec0氦质谱检漏仪设备中含有分子泵及前级泵，在检漏之前会对真空腔预抽一定的真空度，一般使用氦质谱检漏仪最多将真空腔抽到lX10-3Pa的真空度，对于真空度要求不高的场合。而对于真空度要求较高的场合，如真空度达到I X 10-6Pa,使用氦质谱检漏仪就无法满足对磁流体密封件极限耐真空度的检测需求，更加无法测量出磁流体密封件在高真空工况下的漏率。分子泵的使用情况有一定的限制，破除真空的过程中，若未等分子泵的叶片完全停下就将大气经由分子泵进入大气，极有可能将分子泵的叶片打坏。
技术实现思路
针对现有检测方案的局限性，本技术的目的在于提供一种能够较快实现磁流体密封件产品真空度检测，适用于实验室或者磁流体密封件生产线使用的磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
磁流体密封件真空度检测系统，其特征在于，包括:真空腔、与所述真空腔连接的前级泵、分子泵、真空计及与所述真空计连接的真空计显示器，所述真空腔底部固定在工作台上；所述前级泵、分子泵与所述真空腔连接处设有真空阀门。

【技术特征摘要】
1.磁流体密封件真空度检测系统，其特征在于，包括:真空腔、与所述真空腔连接的前级泵、分子泵、真空计及与所述真空计连接的真空计显示器，所述真空腔底部固定在工作台上；所述前级泵、分子泵与所述真空腔连接处设有真空阀门。2.根据权利要求1所述的磁流体密封件真空度检测系统，其特征在于，所述真空腔顶部为法兰盘，所述磁流体密封件连接于所述法兰盘，所述真空腔与磁流体密封件之间通过橡胶“ O ”型圈形成平面静密封，磁流体密封件真空端朝向所述真空腔腔体。3.根据权利要求2所述的磁流体密封件真空度检测系统，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：余雀林，赵张云，杨阳，
申请(专利权)人：江苏海纳磁性纳米新材料科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：