【技术实现步骤摘要】
能供多炉台共用的外部连续投料装置
本技术是关于直拉硅单晶炉设备，特别涉及能供多炉台共用的外部连续投料装置。
技术介绍
单晶炉直拉法生长过程中，多晶硅原料放入石英坩埚中进行熔料、拉晶。单晶炉拉晶完成后，准备新一炉的生产需要做很多繁杂的前期工作，包括停炉冷却、清炉、装料、抽真空、化料等工序，这些前期工作，浪费了大量的时间和能耗。单晶炉在一次硅单晶拉制完成后，可以使用外部连续投料装置，继续投入多晶硅料，以便拉制多根晶棒。通常的外部连续投料装置体积比较大，安装比较费时、费力，故不能有效地再在复投完成之后转移到别的炉子进行复投。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种安装、拆卸方便的能供多炉台共用的外部连续投料装置。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是:提供能供多炉台共用的外部连续投料装置，包括料筒和输送腔，用于对单晶炉进行外部投料，所述料筒的顶部设有加料口，底部设有出料口，出料口上设有底部法兰；所述输送腔包括横向空腔和斜向空腔，横向空腔和斜向空腔连接成内部空腔互通的锐角状L形结构，横向空腔的端部上侧设有进料口，进料口上设有进料法兰，进料法兰与料...
【技术保护点】
能供多炉台共用的外部连续投料装置，包括料筒和输送腔，用于对单晶炉进行外部投料，其特征在于，所述料筒的顶部设有加料口，底部设有出料口，出料口上设有底部法兰；所述输送腔包括横向空腔和斜向空腔，横向空腔和斜向空腔连接成内部空腔互通的锐角状L形结构，横向空腔的端部上侧设有进料口，进料口上设有进料法兰，进料法兰与料筒的底部法兰相连，横向空腔中装有传送装置，传送装置包括电机、主动轴、传动轴和输送带，主动轴和传动轴之间通过输送带连接，电机用于为主动轴提供转动的动力；斜向空腔的底部设有斜出料口，斜出料口上设有斜口法兰，斜口法兰通过波纹管与单晶炉炉盖上的球阀连接，斜向空腔中设有石英轨道装置，...
【技术特征摘要】
1.能供多炉台共用的外部连续投料装置，包括料筒和输送腔，用于对单晶炉进行外部投料，其特征在于，所述料筒的顶部设有加料口，底部设有出料口，出料口上设有底部法兰；所述输送腔包括横向空腔和斜向空腔，横向空腔和斜向空腔连接成内部空腔互通的锐角状L形结构，横向空腔的端部上侧设有进料口，进料口上设有进料法兰，进料法兰与料筒的底部法兰相连，横向空腔中装有传送装置，传送装置包括电机、主动轴、传动轴和输送带，主动轴和传动轴之间通过输送带连接，电机用于为主动轴提供转动的动力；斜向空腔的底部设有斜出料口，斜出料口上设有斜口法兰，斜口法兰通过波纹管与单晶炉炉盖上的球阀连接，斜向空腔中设有石英轨道装置，石英轨道装置上安装有一根...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，王巍，俞安州，沈兴潮，孙明，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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