【技术实现步骤摘要】
温控轴辊
本专利技术涉及一种轴辊，特别涉及一种应用于多线锯切割机上可以进行温度控制的轴辊。
技术介绍
多线锯切割机是将半导体晶棒切割成晶片的设备，半导体晶圆片是集成电路制作的衬底材料，晶圆片切割的精度直接影响集成电路制作的成品率，所以实际生产中对晶圆片的切割精度要求很高。温度是影响晶圆片精度的重要因素，因此消除温度对加工过程中对晶圆的精度影响非常重要。近期公布的一种多线切割机水冷却方法及装置，具有切割温度控制，对整机各关键部位进行全面冷却，实现了对多线切割机各关键部位温度的控制，但其结构设计复杂，操作技术要求高，而且成本投入较大。
技术实现思路
为解决目前多线切割机水冷却技术装置结构设计复杂，操作技术要求高，而且成本投入较大的问题，本专利技术提供一种多线锯切割机上应用的可以进行温度控制的轴辊，轴辊内部有温控恒温水通过，通过对水的温度进行了控制，实现对轴辊的温度控制。本专利技术为解决上述技术问题所采用的技术方案是: 一种温控轴辊,包括位于中心的轴、连接于轴两端的支撑体和位于轴外周的辊,其特征在于:所述轴为空心轴，轴壁的两外端与支撑体连接，所述辊为带夹层的筒状辊，其长度比轴的长度小10~20mm，辊的夹层内沿圆周均匀分布有轴向的水道，辊内壁与轴壁之间在两个端部嵌有密封板，所述支撑体的轴心有阶梯形的孔，靠内侧为小孔，靠外侧为大孔，支撑体其外径与辊的外径一致，支撑体轴心的小孔的直径与轴的外径相适应，所述支承体的内底面上有环形槽和导流槽，所述环形槽与辊夹层内的水道连通，所述导流槽连通各环形槽，环形槽经出水口或进水口以及支撑体的大孔与外界连通。所述支撑体的...
【技术保护点】
一种温控轴辊，包括位于中心的轴（1）、连接于轴两端的支撑体（8）和位于轴外周的辊（3），其特征在于：所述轴（1）为空心轴，轴壁（7）的两外端与支撑体（8）连接，所述辊（3）为带夹层的筒状辊，其长度比轴（1）的长度小10～20mm，辊（3）的夹层内沿圆周均匀分布有轴向的水道（6），辊内壁（2）与轴壁（7）之间在两个端部嵌有密封板（4），所述支撑体（8）的轴心有阶梯形的孔，靠内侧为小孔，靠外侧为大孔，支撑体（8）其外径与辊（3）的外径一致，支撑体轴心的小孔的直径与轴（1）的外径相适应，所述支承体（8）的内底面上有环形槽（10）和导流槽（9），所述环形槽（10）与辊夹层内的水道（6）连通，所述导流槽（9）连通各环形槽（10），环形槽（10）经出水口（16）或进水口（11）以及支撑体的大孔与外界连通。
【技术特征摘要】
1.一种温控轴辊,包括位于中心的轴(I)、连接于轴两端的支撑体(8)和位于轴外周的辊(3)，其特征在于:所述轴(I)为空心轴，轴壁(7)的两外端与支撑体(8)连接，所述辊(3)为带夹层的筒状辊，其长度比轴(I)的长度小10~20mm，辊(3)的夹层内沿圆周均匀分布有轴向的水道(6)，辊内壁(2)与轴壁(7)之间在两个端部嵌有密封板(4)，所述支撑体(8)的轴心有阶梯形的孔，靠内侧为小孔，靠外侧为大孔，支撑体(8)其外径与辊(3)的外径一致，支撑体轴心的小孔的直径与轴(I)的外径相适应，所述支承体(8)的内底面上有环形槽(10)和导流槽(9)，所述环形槽(10)与辊夹层内的水道(6)连通，所述导流槽(9)连通各环形槽(10)，环形槽(10)经出水口(16)或进水口(11)以及支撑体的大孔与外界连通。2.根据权利要求1所述的温控轴辊，其特征在于:所述支撑体(8)的外侧面为夹层结构，其夹层内有侧面环形槽(14)和侧面导流槽(15)。3.根据权利要求1所述的温控轴辊，其特征在于:所述环形槽(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：种宝春，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。