【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术要求于2011年4月5日向韩国知识产权局提交的第10-2011-0031367号韩国专利申请的优先权和权益,并在此将其全部内容通过引用方式并入本申请。本申请涉及。具体而言,本申请涉及用于能够形成精细图案的反向胶版印刷的组合物,以及使用该组合物的印刷方法。更具体而言,本申请涉及用于使用基于硅的橡皮布的反向胶版印刷的组合物,特别是涉及一种光致抗蚀剂组合物,还涉及使用该组合物的印刷方法。
技术介绍
近来,随着电子设备(如触摸屏、显示器、半导体等)性能的多样化和高度发展,需要使用具有各种功能的材料来形成图案,而且对于进一步精细地形成图案的线宽和线间距的需求正在增加。 例如,已在许多的情况下使用用于在各种电子设备中形成电极的导电图案,用于形成滤色片或导电图案的黑矩阵(black matrix)的光致抗蚀剂图案等,而且,随着电子设备的小型化和其性能的高度发展,需要更加精细地形成这些图案。根据用途,形成图案的方法是多样化的,且其代表性的例子包括光刻法、丝网印刷法、喷墨法等。光刻法是这样的一种方法,其可以用光敏材料形成光敏层,并选择性地使用于图案化的光敏层曝光 ...
【技术保护点】
一种使用基于硅的橡皮布的反向胶版印刷组合物,包括:1)粘合剂树脂,2)具有小于100℃的沸点的低沸点溶剂,3)具有100℃以上且小于180℃的沸点的中沸点溶剂,和4)具有180℃以上的沸点的高沸点溶剂,其中,所述低沸点溶剂和高沸点溶剂具有与粘合剂树脂的3(cal.cm)1/2以下的溶解度参数差,以及与基于硅的橡皮布的4(cal.cm)1/2以上的溶解度参数差,以及对于基于硅的橡皮布的2以下的溶胀参数。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.04.05 KR 10-2011-00313671.一种使用基于娃的橡皮布的反向胶版印刷组合物,包括: .1)粘合剂树脂, .2)具有小于100°C的沸点的低沸点溶剂, .3)具有100°C以上且小于180°C的沸点的中沸点溶剂,和 . 4)具有180°C以上的沸点的高沸点溶剂, 其中,所述低沸点溶剂和高沸点溶剂具有与粘合剂树脂的3(cal.cm)1/2以下的溶解度参数差,以及与基于硅的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度参数差,以及对于基于硅的橡皮布的2以下的溶胀参数。2.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,其中,所述粘合剂树脂是线型酚醛树脂。3.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,其中,所述线型酚醛树脂的重均分子量是2000至8000。4.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,其中,所述高沸点溶剂是基于芳族醇的溶剂。5.根据权利要求4所述的反向胶版印刷组合物,其中,所述高沸点溶剂包括选自间苯二酚、间甲酚、邻甲酚、对甲酚、苯甲醇、二甲亚砜、乙二醇、乙二醇苯基酯、丙二醇苯基酯、辛醇和苯酚中的一种以上。6.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,其中,所述中沸点溶剂包括选自乳酸乙酯、PGMEA、甲基-3-甲氧基丙酸酯、甲基戊基酮和乙基-3-乙氧基丙酸酯中的一种以上。7.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,其中,所述低沸点溶剂包括选自碳酸二甲酯、甲醇、甲基乙基酮、异丙醇、乙酸乙酯、乙醇、烯丙醇和丙醇中的一种以上。8.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,其中,所述中沸点溶剂的沸点与各个低沸点溶剂和高沸点溶剂的沸点差为5°C以上。9.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,其中,所述组合物包括5至30wt%的粘合剂树脂、50至85wt%的低沸点溶剂、0.5至15wt%的中沸点溶剂和I至25wt%的高沸点溶剂。10.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,进一步包括: 表面活性剂和增粘剂的一种以上。11.根据权利要求1所述的反向胶版印刷组合物,其中,基于硅的橡皮布...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙镛久,黄智泳,具范谟,黄仁皙,李承宪,全相起,成知玹,金姝延,
申请(专利权)人:LG化学株式会社,
类型:
国别省市:
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