丝网印刷用墨液组合物及图案形成方法技术

技术编号:9666944 阅读:101 留言:0更新日期:2014-02-14 04:15
本发明专利技术的课题在于提供一种丝网印刷用墨液组合物,其适合于利用丝网印刷法在基板上形成用于形成图案的涂膜。本发明专利技术的一个方案的丝网印刷用墨液组合物含有基材树脂成分(A)、光活性化合物(B)和由沸点为200℃以上的有机溶剂构成的溶剂(C)。该丝网印刷用墨液组合物的表面张力为34.0mN/m以上且39.0mN/m以下。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在对包括太阳能电池用基板在内的基板进行蚀刻时所使用的用于形成抗蚀剂图案的丝网印刷用墨液组合物、以及使用该组合物的图案形成方法。
技术介绍
作为在对包括太阳能电池基板在内的基板进行部分蚀刻处理时所使用的用于形成抗蚀剂图案的方法,并非与图案形成同时还进行成膜的丝网印刷法,而是正在尝试在基板的表面形成均匀膜并利用光刻法形成图案(专利文献I)。作为目前用于利用光刻法形成图案的材料,主要已知旋转涂布用组合物(参照专利文献1、2)。此外,在专利文献I中还进行利用棒涂机的成膜。由此形成均匀的膜,能够以比与图案形成同时还进行成膜的丝网印刷法精度更高地形成微细的图案。现有技术文献专利文献专利文献1:国际专利申请公开文本W02010/013642专利文献2:日本特开2001-312052
技术实现思路
但是,在利用旋转涂布等的成膜方法中,在涂布成膜时废液量变多,在减少药液量的方面存在问题。此外,在用丝网印刷法形成涂膜的情况下,首先,将网状的丝、合成树脂、不锈钢等的网板(印刷版)粘贴于框体上,在网板上涂布墨液组合物,用刮墨板(squeegee)将涂布后的墨液组合物挤压到基板上,由此本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种丝网印刷用墨液组合物,其特征在于,其含有:基材树脂成分(A)、光活性化合物(B)、和由沸点为200℃以上的有机溶剂构成的溶剂(C),所述丝网印刷用墨液组合物的表面张力为34.0mN/m以上且39.0mN/m以下。

【技术特征摘要】
2012.08.06 JP 2012-1742571.一种丝网印刷用墨液组合物,其特征在于,其含有:基材树脂成分(A)、光活性化合物(B)、和由沸点为200°C以上的有机溶剂构成的溶剂(C), 所述丝网印刷用墨液组合物的表面张力为34.0mN/m以上且39.0mN/m以下。2.根据权利要求1所述的丝网印刷用墨液组...

【专利技术属性】
技术研发人员:富田浩明吉井靖博
申请(专利权)人:东京应化工业株式会社
类型:发明
国别省市:

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