玻璃加工用感光性树脂组合物及玻璃加工方法技术

第一提供耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制侧蚀，可形成纵横比高的树脂图案的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用该组合物的玻璃加工方法。第二提供耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制液体滴落的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用该组合物的玻璃加工方法。本发明专利技术的第一上述组合物含有具有羟基的质均分子量20000以上的树脂和选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少1种填料。本发明专利技术的第二的玻璃加工用感光性树脂组合物含有具有羟基的质均分子量20000以上的树脂、填料与流变调节剂的组合。本发明专利技术的玻璃加工方法包括在玻璃基板上形成含上述组合物的树脂层的工序、将上述层选择性曝光的曝光工序、将曝光后的上述树脂层显影进行图案图案化的显影工序、将上述树脂图案用作掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序和剥离上述树脂图案的剥离工序。

Photosensitive resin composition for glass processing and glass processing method

First, a photosensitive resin composition for providing glass with a high corrosion resistance and a high resolution, while suppressing a lateral corrosion, a resin pattern capable of forming a aspect ratio, and a glass processing method using the composition. Second photosensitive resin composition for providing glass with high corrosion resistance and high resolution while suppressing liquid drop, and glass processing method using the composition. The first composition of the present invention comprises a resin having a hydroxyl mass of more than 20000 molecular weight, and at least 1 fillers selected from polyolefin particles and inorganic salt particles. A photosensitive resin composition for second glass processing of the present invention comprises a resin having a hydroxyl mass of more than 20000 molecular weight and a combination of a filler and a rheology modifier. The processing method of the invention comprises a glass containing the same resin layer, the layer selective exposure process, after the exposure of the developing pattern of the patterned resin layer, the developing process of stripping process of the resin pattern as a mask for etching the glass substrate etching process and stripping the resin pattern formed on the glass substrate.

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】第一提供耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制侧蚀，可形成纵横比高的树脂图案的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用该组合物的玻璃加工方法。第二提供耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制液体滴落的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用该组合物的玻璃加工方法。本专利技术的第一上述组合物含有具有羟基的质均分子量20000以上的树脂和选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少1种填料。本专利技术的第二的玻璃加工用感光性树脂组合物含有具有羟基的质均分子量20000以上的树脂、填料与流变调节剂的组合。本专利技术的玻璃加工方法包括在玻璃基板上形成含上述组合物的树脂层的工序、将上述层选择性曝光的曝光工序、将曝光后的上述树脂层显影进行图案图案化的显影工序、将上述树脂图案用作掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序和剥离上述树脂图案的剥离工序。【专利说明】
本专利技术涉及一种，其是将该玻璃加工用感光性树脂组合物形成图案而得到的树脂图案作为掩模来对玻璃基板进行蚀刻加工。
技术介绍
就触摸面板而言，在隔着垫片而相向的玻璃基板与膜材料的相向面上，分别将ITO等透明导电物质成膜而成。该触摸面板中，以坐标信息的形式检测出膜材料的接触位置。另外，最近，还提出了触摸面板一体型的液晶显示器。就其而言，构成液晶显示器的2张玻璃基板的一个兼为触摸面板的玻璃基板，在实现薄型化及轻质化方面非常有效。以往，作为这样的玻璃基板的加工方法，通常采用物理方法，但出现了在加工时易在内部产生裂缝，强度降低或成品率变差这样的问题。因此，近年来，提出了将感光性树脂组合物形成图案而得到的树脂图案用作掩模对玻璃基板进行蚀刻加工的化学方法(例如参照专利文献1、2)。利用这样的化学方法，因在加工时没有对其施加物理负荷，故难以在内部产生裂痕。另外，与物理方法不同，在玻璃基板上还可进行麦克风、扬声器用的开孔加工。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2008-076768号公报专利文献2:日本特开2010-072518号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题不过，最近，使用钢化玻璃作为这样的玻璃基板的情况很多。由此，蚀刻条件也变得过于严酷，正在研究例如将含有15质量％氢氟酸及15质量％硫酸的蚀刻液加热至25?60°C来使用。但是，使用在专利文献1、2中记载的那样的以往的感光性树脂组合物时，出现了在如上所述那样的过于严酷的蚀刻条件下耐蚀刻性不足这样的问题。另外，使用以往的感光性树脂组合物时，发生侧蚀，难以形成具有纵横比高的的树脂图案。另外，例如，为了在玻璃基板上形成通孔，有着采用下述方法的情况:将使在玻璃基板的两面涂布的感光性树脂组合物图案化而得到的树脂图案用作掩模来对玻璃基板进行蚀刻加工。在形成上述树脂图案的过程中，将感光性树脂组合物涂布在玻璃基板的两面上并使其干燥而得到树脂层，将该树脂层曝光、显影来进行获得树脂图案的双面图案化。此时，若单面单面地进行感光性树脂组合物的涂布及干燥，则在树脂层之间产生热经历等的不同，有着在图案化时产生影响的情况。因此，就感光性树脂组合物的涂布及干燥而言，优选对玻璃基板的两面同时进行。这样的涂布及干燥是将玻璃基板垂直或水平配置来进行的。但是，在专利文献1、2中记载的那样的以往的感光性树脂组合物具有流动性，弓丨起液体滴落，故出现了难以形成均匀的树脂层这样的问题。即，将玻璃基板垂直配置来进行涂布及干燥时，由于重力的影响，引起感光性树脂组合物的液体从上方滴落至下方，易产生树脂层的膜厚不均。另一方面，将玻璃基板水平配置来进行涂布及干燥时，因上面的感光性树脂组合物受玻璃基板支承，故树脂层的膜厚易保持均匀，与此相对，下面的感光性树脂组合物没有这样的支承，更易流动，故树脂层的膜厚易产生不均。本专利技术鉴于这样的以往的实际情况而实施，第一目的在于提供:耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制侧蚀，可形成纵横比高的树脂图案的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用了该玻璃加工用感光性树脂组合物的玻璃加工方法。本专利技术的第二目的在于提供:耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制了液体滴落的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用了该玻璃加工用感光性树脂组合物的玻璃加工方法。解决问题的手段本【专利技术者】等为了解决上述问题而反复专心研究。其结果发现，通过使用特定的感光性树脂组合物能够解决上述问题，从而完成了本专利技术。具体地，本专利技术提供以下内容。本专利技术的第一方案是一种玻璃加工用感光性树脂组合物(第一玻璃加工用感光性树脂组合物)，其含有具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂和选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少I种填料。本专利技术的第二方案是一种玻璃加工方法(第一玻璃加工方法)，其包括:在玻璃基板上形成包含上述第一玻璃加工用感光性树脂组合物的树脂层的树脂层形成工序、将上述树脂层选择性曝光的曝光工序、将曝光后的上述树脂层显影来形成树脂图案的显影工序、将上述树脂图案作为掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序、和剥离上述树脂图案的剥离工序。本专利技术的第三方案是一种玻璃加工用感光性树脂组合物(第二玻璃加工用感光性树脂组合物)，其含有填料与流变调节剂的组合、和具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂。本专利技术的第四方案是一种玻璃加工方法(第二玻璃加工方法)，其包括:在玻璃基板上形成包含上述第二玻璃加工用感光性树脂组合物的树脂层的树脂层形成工序、将上述树脂层选择性曝光的曝光工序、将曝光后的上述树脂层显影来形成树脂图案的显影工序、将上述树脂图案作为掩模对上述玻璃基板进行蚀刻的蚀刻工序、和剥离上述树脂图案的剥离工序。专利技术效果第一，根据本专利技术，可提供耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制侧蚀，可形成纵横比高的树脂图案的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用了该玻璃加工用感光性树脂组合物的玻璃加工方法。第二，根据本专利技术，可提供耐蚀刻性高且分辨率优异，同时抑制了液体滴落的玻璃加工用感光性树脂组合物及使用了该玻璃加工用感光性树脂组合物的玻璃加工方法。【具体实施方式】以下，对本专利技术的实施方式加以详细说明。以下，首先，对本专利技术涉及的玻璃加工用感光性树脂组合物加以说明，其次，对本专利技术涉及的玻璃加工方法加以说明。《玻璃加工用感光性树脂组合物》本专利技术涉及的第一玻璃加工用感光性树脂组合物至少含有具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂、和选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少I种填料。本专利技术涉及的第二玻璃加工用感光性树脂组合物含有具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂、和填料与流变调节剂的组合。这些感光性树脂组合物可以为正型、负型中的任一种。以下，对正型感光性树脂组合物及负型感光性树脂组合物所含有的各成分加以详细说明。<正型感光性树脂组合物>第一玻璃加工用感光性树脂组合物的情况下，正型感光性树脂组合物至少含有(A)具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂、(B)选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少I种填料、及(C)含醌二叠氮基(Quinone diazide group)的化合物。第二玻璃加工用感光性树脂组合物的情况下，正型感光性树脂组合物至少含有(A)具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂、(B’ )填料与流变调节剂的组合以及(C)含醌二叠氮基的化合物。具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂(以下，也称之为“㈧成分”。)的质均分子量只要为20000以上就无本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃加工用感光性树脂组合物，其含有具有羟基的质均分子量为20000以上的树脂、和选自聚烯烃微粒及无机盐微粒中的至少1种填料。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：植松照博，土居香织，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：