一种自动化沉积工艺制造技术

公开了一种自动化沉积工艺。本发明专利技术实施例一般提供在衬底上丝网印刷图案的装置与方法。在一实施例中，图案化层连同多个对准标记被印刷至衬底的表面上。测量这些对准标记相对于衬底的特征结构的位置，以判定图案化层的实际位置。将实际位置与预期位置作比较以判定图案化层在衬底上的安置的位置误差。使用此信息来调整图案化层在后续多个经处理衬底上的安置。

【技术实现步骤摘要】
本申请是申请日为2009年5月25日的、申请号为“200980157608.2”的、专利技术名称为“自动调整的丝网印刷工艺”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术实施例一般涉及在衬底的表面上丝网印刷多层图案的系统与工艺。
技术介绍
太阳能电池为可直接将太阳光转换成电功率的光电(PV)器件。太阳能电池通常具有一个或多个p-n结。半导体材料内的每个p-n结包括两个不同区域，其中一侧被标示为p-型区域且另一侧被标示为n-型区域。当太阳能电池的p-n结暴露在太阳光(由来自光子的能量组成)下时，太阳光经由光电(PV)效应直接转换成电力。太阳能电池产生特定量的电功率，并铺列成大小确定为传递期望量的系统功率的模块。太阳能模块使用特定框架及连接器来与平板接合。太阳能电池通常形成在硅衬底上，其中硅衬底可为单晶硅衬底或多晶硅衬底。典型的太阳能电池包括：通常厚度小于约0.3mm的硅晶片、硅衬底、或硅板，该硅晶片、硅衬底、或硅板具有在衬底上形成的p-型区域之上的n-型硅薄层。在过去十年间，光电(PV)市场已经历了超过30％的年度成长率。一些文章认为全世界的太阳能电池功率产量可能在未来超过10GWp。预估本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动化沉积工艺，包括以下步骤：在衬底支撑件上定位第一衬底，其中所述第一衬底具有至少一个边缘；以一图案将材料层沉积至所述第一衬底的表面上，其中所述图案包括至少两个对准标记；使用系统控制器确定所述至少两个对准标记相对于所述第一衬底的所述至少一个边缘的实际取向及位置，并且计算实际位置与预期位置之间的位置偏差、以及实际取向与预期角度取向之间的角度偏差；及使用所述位置偏差和所述角度偏差的信息，在相对于第二衬底的至少一个边缘的经调整取向或经调整位置上，以一图案将材料层沉积至所述第二衬底的表面上，其中沉积在所述第二衬底上的材料的取向或位置比沉积在所述第一衬底上的材料的取向或位置更接近所述预期取向或所述预...

【技术特征摘要】
2009.02.23 IT UD2009A0000431.一种自动化沉积工艺，包括以下步骤：在衬底支撑件上定位第一衬底，其中所述第一衬底具有至少一个边缘；以一图案将材料层沉积至所述第一衬底的表面上，其中所述图案包括至少两个对准标记；使用系统控制器确定所述至少两个对准标记相对于所述第一衬底的所述至少一个边缘...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·巴希尼，M·佳利亚佐，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US