振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

【技术实现步骤摘要】
振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体
本专利技术涉及一种振动片、振动片的制造方法、振子、电子装置、电子设备及移动体。
技术介绍
一直以来，作为用于检测角速度的振动片，已知一种所谓的“双T型”的陀螺元件(例如，参照专利文献I)。专利文献I中所记载的陀螺元件通过如下部分构成，所述部分包括:基部；从基部起沿着y轴而向两侧延伸的第一、第二检测振动臂(检测臂)；从基部起沿着X轴而向两侧延伸的第一、第二连结臂(连接臂)；从第一连结臂起沿着y轴而向两侧延伸的第一、第二驱动振动臂(驱动臂)；从第二连结臂起沿着y轴而向两侧延伸的第三、第四驱动振动臂(驱动臂)。而且，在第一、第二、第三、第四驱动振动臂的顶端部上，设置有以从各个驱动振动臂的顶端朝向基部的方式而设置的锤层。该锤层为，用于各个驱动振动臂的共振频率调节(以下，称为频率调节)的质量调节膜，且该锤层是通过使用了蒸镀掩膜的蒸镀法等而被形成的。在频率调节中，通过使用例如激光等来去除该锤层的至少一部分，从而将各个驱动振动臂的共振频率校准为预定的值。然而，在如上文所述通过使用了蒸镀掩膜的蒸镀法等来形成各个振动臂的锤层的情况下，存在蒸镀掩膜的设置位置产生偏差的情况。特别是，在蒸镀掩膜的设置位置于各个驱动振动臂(振动臂)的延伸方向(y轴方向)上发生了偏移的情况下，在各个驱动振动臂从基部起向两侧(相互向相反方向)延伸的、例如第一驱动振动臂、第二驱动振动臂中，如果第一驱动振动臂的锤层增大，则第二驱动振动臂的锤层将减小。如此，在蒸镀掩膜的设置位置于各个驱动振动臂的延伸方向(y轴方向)上发生了偏移的情况下，被形成在相互向相反方向延伸的驱动振动臂上的锤层的大小和质量将有所不同(失去平衡)。即，被设置于相互向相反方向延伸的各个驱动振动臂上的锤层的重心位置和质量将有所不同。由此，存在相互向相反方向延伸的驱动振动臂的振动平衡被破坏，从而产生频率温度特性的劣化、即所谓的温度漂移的情况。专利文献1:日本特开2006-105614号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题中的至少一部分而被完成的，并且能够作为以下的方式或应用例而实现。应用例I本应用例所涉及的振动片的特征在于，具备:基部；一对振动臂，其从所述基部起相互向相反方向延伸；第一锤部，其以从至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，而被设置在所述至少一个所述振动臂上；第二锤部，其被设置在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内，在将设置有所述第一锤部的区域设为第一区域，将所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域设为第二区域，并将所述第一区域的面积设为Al，将所述第一锤部的质量设为BI，且将所述第二区域的面积设为A2，将所述第二锤部的质量设为B2时，B1/A1 > B2/A2。本申请的专利技术人发现了如下情况，即，在被设置于振动臂上的锤层(包括第一锤部与第二锤部在内的锤部)与振动片的温度漂移之间的关联性中，存在锤层的重心位置不平衡(锤层的位置变化)对温度漂移的影响、和锤层的质量不平衡对温度漂移的影响。另外，在此，温度漂移是指，振动片的频率相对于温度变化而发生变化的情况。进行详细叙述，与锤层的位置的不平衡相比，锤层的质量不平衡对温度漂移的影响度更大，且锤层的位置越靠近振动臂的顶端，对温度漂移的影响度越大。而且，在锤层的质量不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中，具有拥有负的斜率的相关关系，而在锤层的位置不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中，具有拥有正的斜率的相关关系。S卩，本申请的专利技术人发现了如下内容，通过使用上文所述的结构的锤层，从而能够使由锤层的质量不平衡而引起的温度漂移、和由锤层的位置不平衡的影响而引起的温度漂移相抵消，由此，能够减少温度漂移的发生。在本应用例的振动片中，由于从基部起相互朝向相反方向延伸出一对振动臂，因此在蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移的情况下，被设置于各个振动臂上的第一锤部的位置在一个振动臂中，将向顶端侧偏移形成，而在另一个振动臂中，将向基部侧偏移形成。在此，第一锤部以从振动臂的顶端隔开间隔的方式，而被设置在振动臂的第一区域内，而第二锤部被设置在第一锤部与振动臂的顶端之间的整个区域即第二区域内，也就是说，所述第二锤部被设置于，与第一锤部相比靠振动臂的顶端侧的位置处，并且，在将第一区域的面积设为Al，将第一锤部的质量设为BI，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1 > B2/A2。由于通过该结构，减小了对振动片的温度漂移的产生影响度较大的第二锤部的质量，因此质量不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中的负的斜率减小。此时，由于第一锤部以其位置在一个以及另一个振动臂内发生偏移的方式而形成，因此，虽然受到位置的不平衡对振动片的温度漂移的影响，但位置不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中的正的斜率不会发生改变。因此，在上述结构中，在第二锤部的质量不平衡的与振动片的温度漂移之间的相关关系中减小了的负的斜率、和第一锤部的位置不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中的原本就较小的正的斜率，具有正负基本相同的斜率。由此，质量不平衡的与振动片的温度漂移之间的相关关系、和位置不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系相抵消，从而即使在蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移的情况下，即，即使在被设置于各个振动臂上的第一锤部以及第二锤部的位置发生了偏移的情况下，也能够抑制振动片的温度漂移的发生。另外，虽然本结构可应用于一对振动臂的双方中，但是，只需应用于一对振动臂中位于与锤部发生偏移的方向相反的一侧的一个振动臂中，便能够产生上文所述的效果。即，只需将本结构的锤部应用于，位于与锤部发生偏移的方向相反的一侧的一个振动臂中即可。应用例2上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述第二锤部在与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的宽度，小于所述第一锤部的所述宽度。根据本应用例，能够使对振动片的温度漂移的产生影响度较大的第二锤部的质量不平衡的、与振动片的温度漂移之间的相关关系中的负的斜率减小。换言之，即使在由于蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移等，从而被设置于各个振动臂上的第一锤部以及第二锤部的位置发生了偏移的情况下，也能够抑制振动片的温度漂移的产生。应用例3上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述第二锤部被设置于，与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的大致中央部处。根据本应用例，由于取得了第二锤部的振动臂的宽度方向上的平衡，因此能够进一步抑制对振动片的温度漂移的影响。应用例4上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述第二锤部由多个第三锤部构成。根据本应用例，由于第二锤部以包括多个第三锤部的方式而构成，因此能够使对振动片的温度漂移的产生影响度较大的第二锤部的质量不平衡的、与振动片的温度漂移之间的相关关系中的负的斜率减小。应用例5上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述第一锤部以与沿着所述至少一个所述振动臂的延伸方向的、所述至少一个所述振动臂的侧端之间隔开间隔的方式而被设置。根据本应用例，即使在蒸镀掩膜的设置位置在各个振动臂的宽度方向上发生了偏移的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动片，其特征在于，具备：基部；一对振动臂，其从所述基部起相互向相反方向延伸；第一锤部，其以从至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，而被设置在所述至少一个所述振动臂上；第二锤部，其被设置在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内，在将设置有所述第一锤部的区域设为第一区域，将所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域设为第二区域，并将所述第一区域的面积设为A1，将所述第一锤部的质量设为B1，且将所述第二区域的面积设为A2，将所述第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

【技术特征摘要】
2012.07.23 JP 2012-1623841.一种振动片，其特征在于，具备: 基部; 一对振动臂，其从所述基部起相互向相反方向延伸； 第一锤部，其以从至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，而被设置在所述至少一个所述振动臂上； 第二锤部，其被设置在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内， 在将设置有所述第一锤部的区域设为第一区域，将所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域设为第二区域， 并将所述第一区域的面积设为Al，将所述第一锤部的质量设为BI， 且将所述第二区域的面积设为A2，将所述第二锤部的质量设为B2时，B1/A1 > B2/A2。2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述第二锤部在与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的宽度，小于所述第一锤部的所述宽度。3.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述第二锤部被设置于，与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的大致中央部处。4.如权利要求2所述的振动片，其特征在于， 所述第二锤部被设置于，与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的大致中央部处。5.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述第二锤部由多个第三锤部构成。6.如权利要求2所述的振动片，其特征在于， 所述第二锤部由多个第三锤部构成。7.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述第一锤部以与沿着所述至少一个所述振动臂的延伸方向的、所述至少一个所述振动臂的侧端之间隔开间隔的方式而被设置。8.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度， 所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。9.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 设置有一对检测用振动臂， 所述一对检测用振动臂从所述基部起相互向相反方向延伸。10.如权利要求2所述的振动片，其特征在于， 所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度， 所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。11.如权利要求3所述的振动片，其特征在于， 所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度， 所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。12.如权利要求4所述的振动片，其特征在于， 所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口啓一，小仓诚一郎，菊池尊行，西泽竜太，大泽征司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：