The utility model discloses a wire cutting machine of transfer filter, including the transfer bracket and the barrel is arranged on the bracket; the opening above the transfer barrel is provided with mortar barrel is arranged in the filter transfer depth gauge, the transfer bucket is arranged at the bottom of the discharge tube of mortar. The utility model can accurately control the amount of mortar, mortar by mortar filter, transfer into the bucket, the depth gauge can accurately measure the transfer level in the barrel, a defined volume of mortar in transit in the bucket, to precisely control the cutting process of mortar used in multi line; the utility model reduces the cost, and improve the quality of multi wire cutting.
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种线切机砂浆中转过滤装置,包括支架和设在支架上的中转桶;中转桶的开口上方设有砂浆过滤器,中转桶中设有深度测量尺,中转桶的底部设有砂浆排出管。本技术能够精确控制砂浆量,砂浆通过砂浆过滤器过滤后,流入中转桶中,通过深度测量尺可以精确测量中转桶中的液位高度,确定砂浆在中转桶中的体积,以精确控制砂浆在多线切割过程中的使用量;本技术降低了成本,并提高了多线切割的质量。【专利说明】一种线切机砂浆中转过滤装置
本技术涉及硅片多线切割
,具体涉及一种线切机砂浆中转过滤装置。
技术介绍
众所周知,现代信息技术和现代电子技术的基础是半导体技术,而半导体硅材料是最重要的半导体材料。多线切割机以极高的生产效率和出片率,广泛应用于大直径超薄硅片的切割领域,多线切割机用钢线切割时,所用切削液是碳化硅跟晶硅切削液的悬浮混合体,俗称砂浆。多线切割机生产过程中的更换砂浆量的控制是生产成本中的重要环节,但是,目前在更换砂浆时,在线砂浆回收机更换的砂浆量不能精确控制,用量多时会增加成本,用量少时会影响多线切割的质量。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种能够精确控制更换砂浆量的中转过滤>J-U ρ?α装直。为解决上述技术问题,本技术所采取的技术方案是:一种线切机砂浆中转过滤装置,包括支架和设在支架上的中转桶;中转桶的开口上方设有砂浆过滤器,中转桶中设有深度测量尺,中转桶的底部设有砂浆排出管。·其中,所述砂浆排出管上设有砂浆泵。其中,所述中转桶的桶口设有导轨,砂浆过滤器装设在导轨上。其中,所述中转桶的桶壁上与深度测量尺刻度对应的位置设有透明窗。 ...
【技术保护点】
一种线切机砂浆中转过滤装置,其特征在于:包括支架(1)和设在支架(1)上的中转桶(2);中转桶(2)的开口上方设有砂浆过滤器(3),中转桶(2)中设有深度测量尺(5),中转桶(2)的底部设有砂浆排出管(7)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李佩剑,刘巍,周为贞,范靖,柳恒伟,曹绍文,
申请(专利权)人:晶伟电子材料有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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