The utility model discloses a silicon Czochralski thermal field visual thermal screen device comprises an outer heat shield and embedded in the outer heat shield in the heat and heat between the screen and the screen, screen for external heat sealed insulation cavity; the insulating layer is arranged in the interlayer cavity block, inner wall and sandwich block close to the hot screen the outer wall and the outer heat shield; the corresponding position of the screen wall at the bottom, an outer heat shield sandwich block and thermal screen screen wall at the bottom of the groove is provided with an observation. The utility model can observe the position of molten silicon liquid in the process of crystal growth in real time. The heat outside the screen, heat shield and sandwich block with each other, the observer can be observed through the observation of the solid-liquid interface, thermal screen and heat shield can play the role of heat preservation, the reasonable control of silicon melt temperature gradient of solid-liquid interface.
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏和嵌套在外热屏中的内热屏，并且内热屏与外热屏之间为密闭的保温层腔体；所述保温层腔体中设有夹层块，且夹层块紧贴内热屏的外壁和外热屏的内壁；所述外热屏的屏壁底部、夹层块以及内热屏的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。本技术可以对晶体生长过程中熔硅液面位置进行实时观察。内热屏、外热屏和夹层块相互配合，观察者可以通过观察口对固液界面进行观察，内热屏和外热屏可以起到保温的作用，合理控制熔硅固液界面温度梯度。【专利说明】—种单晶硅直拉热场可视热屏装置
本技术涉及一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，用在直拉单晶收尾过程中进行液面位置的测量。
技术介绍
现有的单晶硅直拉热场热屏主要用于控制晶体生长时固液界面的纵向温度梯度，但由于增加热屏后阻碍操作者的视线，无法对剩余硅料进行实时监控，会造成熔硅剩料过少无法收尾甚至造成安全事故的情况。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，对晶体生长过程中熔硅液面位置进行实时观察。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是:一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏和嵌套在外热屏中的内热屏，并且内热屏与外热屏之间为密闭的保温层腔体；所述保温层腔体中设有夹层块，且夹层块紧贴内热屏的外壁和外热屏的内壁；所述外热屏的屏壁底部、夹层块以及内热屏的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。其中，所述内热屏和外热屏均为圆台形，且内热屏的轴线和外热屏的轴线一致。其中，所述外热屏的底部设有内翻边，内翻边上设有接口槽，内热屏的底部插在接口槽中。其中，所述三个观察槽的...
【技术保护点】
一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏（2）和嵌套在外热屏（2）中的内热屏（1），并且内热屏（1）与外热屏（2）之间为密闭的保温层腔体；其特征在于：所述保温层腔体中设有夹层块（3），且夹层块（3）紧贴内热屏（1）的外壁和外热屏（2）的内壁；所述外热屏（2）的屏壁底部、夹层块（3）以及内热屏（1）的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：楚信博，李宁，
申请(专利权)人：晶伟电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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