探针固持结构及其光学检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种探针固持结构，其包括有一基板以及复数个固持模块。该基板具有一通孔以及复数个设置在该通孔的周围的槽体。该复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有一固定件以及复数个探针，其中，该固定件与对应的槽体相连接。该复数个探针连接于该固定件上，且通过对应的槽体。在另一实施例中，本发明专利技术更利用该探针固持结构以及具有镜头的镜头调整机构相组合以形成可以检测芯片电性的光学检测装置。

Probe holding structure and optical detecting device thereof

The invention provides a probe holding structure, which comprises a base plate and a plurality of holding modules. The substrate has a through hole and a plurality of grooves disposed around the through hole. The plurality of holding modules are respectively connected with the plurality of groove bodies, each fixing module is provided with a fixing piece and a plurality of probes, wherein, the fixing piece is connected with the corresponding groove body. The plurality of probes are connected to the fixing piece and pass through the corresponding groove body. In another embodiment, the present invention is more integrated with the probe holding structure and the lens adjustment mechanism with the lens to form an optical detection device that can detect chip electrical properties.

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种探针固持结构，其包括有一基板以及复数个固持模块。该基板具有一通孔以及复数个设置在该通孔的周围的槽体。该复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有一固定件以及复数个探针，其中，该固定件与对应的槽体相连接。该复数个探针连接于该固定件上，且通过对应的槽体。在另一实施例中，本专利技术更利用该探针固持结构以及具有镜头的镜头调整机构相组合以形成可以检测芯片电性的光学检测装置。【专利说明】探针固持结构及其光学检测装置
本专利技术涉及一种探针固持以及镜头位置调整的技术，尤其是指一种利用组合式的探针固持结构及具有该探针固持结构与镜头位置调整机制的光学检测装置。
技术介绍
半导体芯片完成之前，必须通过多道检测程序以确保品质。其中的一检测项目即是为了验证半导体芯片内部的各精密电子元件间的电性连接是否确实以及功能是否符合验收规格。—般而言,半导体芯片进行测试时,测试机必须通过一探针卡(probe card)接触待测物(device under test，DUT)，例如:芯片，并凭借信号传输以及电性信号分析，以获得待测物的测试结果。探针卡通常包含若干个尺寸精密的探针相互排列而成，每一个探针通常会对应芯片上特定的电性接点，当探针接触待测物上的对应电性接点时，可以确实传递来自测试机的测试信号；同时，配合探针卡及测试机的控制与分析程序，达到测量待测物的电性特征的目的。请参阅图1A与图1B所示，该图是现有技术的探针卡结构底视以及剖面示意图。该探针卡I具有一导引板10，其上具有一通孔11，通孔周围具有复数排探针12，13以及14。由于在导引板10上有复数排的探针12，13以及14，再加上导引板10的面积很小，因此在制作探针卡I时，在进行第一排探针12的插针动作时，第二排与第三排探针13与14的插针动作就无法同步进行，因而会降低探针卡I的制作效率。此外，由于在现有技术中，探针是直接插置在导引板10上，因此当制作品质有问题时或者是在使用上探针接触有异常时，并无法针对有问题的探针，个别进行更换，而必须将探针连同导引板一起报废，如此必然增加探针卡的成本。此外，如图1C所示，该图是现有的晶圆测试机构示意图，在现有技术中，该晶圆测试机构具有一座体6，其上具有复数个通孔61。每一个通孔61分别容置有一镜头容置座71。每一镜头容置座71内具有凹槽，以提供一镜头72以螺牙721与该凹槽内部相螺接。在现有技术中，存在几个待解决的问题，首先为调整镜头不易，由于镜头具有焦距，因此在检测过程中需要调整镜头的焦距才可以产生清晰的影像，不过现有技术要对镜头焦距进行微调时需要凭借镜头72表面与容置座71间的螺牙721的协助来改变镜头72在垂直方向的位置，这使得调整的手续变得相当不方便，进而会影响检测的效率。其次由于镜头容置座71凹槽的壁面的螺牙与镜头72本身的螺牙间具有背隙的故，因此往往会造成镜头位置调整上的误差，而影响光学成像的效果。综合上述，因此亟需一种利用组合式的探针固持结构及具有该探针固持结构与镜头位置调整机制的光学检测装置来解决现有技术所产生的问题。
技术实现思路
本专利技术的一目的在提供一种探针固持结构，其将探针模块化而与导引板相接，增加探针与导引板组合的弹性以提升制作探针卡的效率，而且也可以容易对有问题的探针进行更换，使得维护更方便，进而降低探针卡的成本。本专利技术的一目的在提供一种光学检测装置，其更具有一镜头调整机构，凭借一位置调整机构所具有的螺牙以及镜头容置座顶部至少一个调整槽的设置，再通过调整治具来调整镜头容置座的位置，以简化调整镜头容置座位置的方式。为了达到上述的目的，本专利技术提供一种探针固持结构，其特征在于，包括:一基板，其具有一通孔以及复数个设置在该通孔的周围的槽体；以及复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有:一固定件，其与对应的槽体相连接；以及复数个探针，其连接于该固定件上，且通过对应的槽体。所述的探针固持结构，其中该复数个槽体是贯通该基板的槽体，且每一个固持模块容置于每一个槽体内。所述的探针固持结构，其中每一探针具有:一延伸部，其抵靠于该固定件的一侧面上，且通过对应的槽体；一悬臂部，其与该延伸部相连接，与该延伸部间具有一第一夹角，该悬臂部与该固定件间具有一胶材；以及一侦测部，其与该悬臂部相连接，且与该悬臂部间具有一第二夹角。所述的探针固持结构，其中该复数个槽体相互连通。所述的探针固持结构，其中该复数个固定件相互连接形成一体的固定件结构。所述的探针固持结构，其中该复数个槽体是贯通该基板的贯穿槽，且该一体的固定件结构连接在对应于相互连通的复数个槽体的基板表面上，每一探针通过该贯穿槽。所述的探针固持结构，其中该一体的结构是口字型或“门”字型结构。为了达到上述的目的，本专利技术更提供一种光学检测装置，其特征在于，包括:一镜头调整机构，包括有:一座体，其具有至少一第一通孔；至少一镜头容置座，其分别容置于该至少一第一通孔内，每一镜头容置座具有一容置槽，以提供容置一镜头；以及至少一探针固持结构，其设置于该座体的表面上，每一探针固持结构其包括有:一基板，其具有一第二通孔以及复数个设置在该第二通孔的周围的槽体；以及复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有:一固定件，其与对应的槽体相连接；以及 复数个探针，其连接于该固定件上，且通过对应的槽体。所述的光学检测装置，其中该复数个槽体是贯通该基板的槽体，且每一个固持模块容置于每一个槽体内。所述的光学检测装置，其中每一探针具有:一延伸部，其抵靠于该固定件的一侧面上，且通过对应的槽体；一悬臂部，其与该延伸部相连接，与该延伸部间具有一第一夹角，该悬臂部与该固定件间具有一胶材；以及一侦测部，其与该悬臂部相连接，且与该悬臂部间具有一第二夹角。所述的光学检测装置，其中该复数个槽体相互连通。所述的光学检测装置，其中该复数个固定件相互连接形成一体的结构。所述的光学检测装置，其中该复数个槽体是贯通该基板的贯穿槽，且该一体的固定件结构连接在对应于相互连通的复数个槽体的基板表面上，每一探针通过该贯穿槽。所述的光学检测装置，其中该一体的结构是口字型或“门”字型结构。所述的光学检测装置，其中该座体的表面更具有至少一第二容置槽，以分别提供容置该至少一探针固持结构，该第一通孔贯通该容置槽而与对应的探针固持结构所具有的该第二通孔相对应。所述的光学检测装置，其更包括有至少一位置调整部，其分别对应每一第一通孔以及每一镜头容置座且与该座体以及对应的镜头容置座相耦接，每一位置调整部使对应的该镜头容置座于对应的第一通孔内进行一位置调整运动，其中每一镜头容置座于该容置槽的槽口外围的顶面上更具有至少一调整槽设置于该容置槽的槽口外侧，该位置调整部更具有:一第一螺牙，其形成于该每一第一通孔的内壁；—第二螺牙，其形成于该每一镜头容置座的表面以与该第一螺牙相螺接；以及一挠性环，其套设于该每一镜头容置座上，而对应该每一镜头容置座的第一通孔形成于一凹槽内，该挠性环外径大于等于对应凹槽内壁的口径，使该座体与该每一镜头容置座螺接时该挠性环被该凹槽内壁压缩而密接。与现有技术相比较，本专利技术具有的有益效果是:本专利技术的提供一种探针固持结构，其将探针模块化而与导引板相接，增加探针与导引板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针固持结构，其特征在于，包括：一基板，其具有一通孔以及复数个设置在该通孔的周围的槽体；以及复数个固持模块，其分别与该复数个槽体相连接，每一个固持模块更具有：一固定件，其与对应的槽体相连接；以及复数个探针，其连接于该固定件上，且通过对应的槽体。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：张嘉泰，蔡锦溢，陈秋桂，余陈志，赖建彰，杨金田，杨惠彬，张庚生，黄韵如，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：