检查用探头的制造方法技术

本发明专利技术提供一种检查用探头的制造方法，使将由异种金属构成的线材接合而构成的检查用探头的接合部位的品质提高。本发明专利技术的检查用探头的制造方法将在至少一方的前端部形成有检查用接触部的第一线材（110）及第二线材（120）接合而构成检查用探头，通过向第一线材和所述第二线材的外周面照射不同的能量的激光而进行激光焊接，之后对外周面进行研磨。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于进行半导体的电导通检查的探头卡等的，特别是使将融点不同的异种金属的线材焊接而构成的检查用探头的接合部的品质提高。
技术介绍
作为利用探头卡、线型探头、条纹探头、蛇型探头等用作检查用探针的检查用探头(探针)，公知的是使用抗蚀性和耐磨损性优异的铱、抗蚀性优异的钼合金、电气特性优异的钯合金等。但是，由于铱、钼合金、钯合金等贵金属类的材料价格高，使用这些材料制作检查用探头整体的话，成为价格非常高的探头。另外，由于铱是硬且脆的材料，在欲用于整个探头的情况下，加工困难。另外，在欲将钼合金及钯合金用于探头整体的情况下，难以得到必要的弹性及韧性。因此，尝试在检查用探头的前端部使用铱、钼合金、钯合金等贵金属，并且使用弹性、韧性及导电性优异的钨、铼钨合金、铍铜等形成前端部以外的部分(主体部)，将其接合而构成检查用探头。作为关于这样的将异种金属接合的检查用探头的现有技术，例如在专利文献I中记载有，在由钨构成的探头主体和由钯合金构成的前端部的接合面流过大电流，进行电阻焊接。另外，在专利文献2记载有，将由异种材料构成的前端部与钨等探头主体的前端部进行超声波振动接合，之后将包含接合部的前端部加工成尖头。另外，在专利文献3中记载有如下的探针，即，在由钨或铼钨构成的探头的前端部钎焊有钛、镍或它们的合金的异种材料探针。另外，在专利文献4中记载有如下的探头，S卩，在由钨构成的探头部的后端部，通过电阻焊接或激光焊接接合有铜线的异种金属接合探头。专利文献1:(日本)特开2000 - 137042号公报专利文献2:(日本)特开2007 — 271472号公报专利文献3:(日本)特开2007 - 147483号公报专利文献4:(日本)特开2000 - 187043号公报但是，由于这种检查用探头是微细的，难以提高精度、强度、可靠性等接合部的品质。例如，在近年来的半导体检查所使用的垂直式的探头卡中，使用有直径35微米?50微米的检查用探头。在接合这种微细的异种金属线材的情况下，在专利文献I记载的钎焊中，在线材与焊料之间难以充分确保界面的面积，在接合强度上产生不足。另外，在如专利文献2所记载地需要流过大电流的电阻焊接、或如专利文献3所记载地需要在线材间作用较强的轴向力而使端面压接的超声波振动接合中，在线材的直径微细的情况下，难以得到良好的接合部的品质。另外，在如专利文献4所记载地进行了激光焊接的情况下，由于不需要在线材上作用大的电流及压接力，而且加热热量的控制性也优异，因此即使是微细的探头也能够得到较优质的接合部的品质。但是，在将这样的异种金属接合后的探头的情况下，由于成为接合对象的线材的融点不同的情况较多，因此会产生低融点材料的过熔及高融点材料的熔化不良等造成的焊接品质的降低。另外，在将由这样的异种金属构成的线材焊接的检查用探头的情况下，有时会因为在焊接部位的表面产生收缩而损害接合部位的品质。
技术实现思路
鉴于上述的问题，本专利技术的课题在于提供一种，使将由异种金属构成的线材接合而构成的检查用探头的接合部位的品质提高。本专利技术通过如下的解决手段来解决上述的课题。本专利技术第一方面的，将在至少一方的前端部形成有检查用接触部的第一线材及第二线材接合而构成检查用探头，其中，通过在将所述第一线材和所述第二线材对接的状态下向接合部位的外周面照射激光而进行激光焊接，并且使由所述激光对所述第一线材和所述第二线材中材料的融点高的一方赋予的能量比对材料的融点低的一方赋予的能量大。据此，不像超声波振动接合或电阻焊接那样地在第一线材、第二线材上作用大的轴向力等或者流过大电流，能够通过照射激光而瞬间使第一线材及第二线材熔融并进行焊接，即使是微细的异种金属接合探头，也能够使接合部的品质良好，能够确保精度、强度、可靠性等。另外，通过使对第一线材和第二线材中材料的融点高的一方赋予的能量比对材料的融点低的一方赋予的能量大，即使在将由融点不同的材料构成的线材接合的情况下，也能够防止高融点材料的融合不良及低融点材料的过熔，能够使二者熔融的时刻一致而得到良好的焊接品质。另外，在此所说的能量是指将通过照射激光而直接或间接(例如来自另一方的线材的热传导等)地赋予各线材的热量在从加热开始至完成的时间内积分后的能量。这样使对各线材赋予的能量不同的情况，例如可通过仅对高融点材料的线材照射激光，低融点材料的线材利用来自高融点材料的线材的导热进行加热来实现。另外，也可以对高融点材料的线材照射激光进行预加热，之后向高融点材料及低融点材料的线材的接合部照射激光而进行焊接。另外，也可以使向高融点材料的线材照射的激光和向低融点材料的线材照射的激光的能量、照射时间中的一方或双方不同。激光的能量例如可通过激光焊接机的电压、频率、热量(焦耳)等参数设定进行控制，另外，通过变更激光直径也可改变单位面积的能量。另外，也可以通过使低融点材料的直径比高融点材料的直径粗，并通过改变熔融的部位的体积，使所照射的激光的能量、照射时间相同。需要说明的是，这种激光的能量可以通过向现有的激光功率计的传感器部照射激光来进行测定。本专利技术第二方面的，在第一方面的基础上，在进行了所述激光焊接之后对焊接部的外周面进行研磨并且研磨至产品外径。本专利技术第三方面的，将在至少一方的前端部形成有检查用接触部的第一线材及第二线材接合而构成检查用探头，其中，通过在将所述第一线材和所述第二线材对接的状态下向接合部位的外周面照射激光而进行激光焊接，在进行了所述激光焊接之后，对焊接部的外周面进行研磨并且研磨至产品外径。据此，即使是至少一方的线材的外径比最终的产品外径大的情况、或在焊接部位产生台阶、收缩等的情况下，也能够使产品的尺寸精度及表面平滑度良好。另外，就这种研磨而言，例如可使用公知的无心研磨等。另外，在说明书及权利要求书中，所谓产品外径是指检查用探头作为最终的产品(成品)在检查中被利用时的该部位的外径。本专利技术第四方面的，在第一方面至第三方面中的任一方面的基础上，在所述第一线材及所述第二线材的一方的端面形成凸部，在另一方的端面形成与所述凸部卡合并以所述第一线材和所述第二线材大致同心的方式进行引导的凹部。据此，在使第一线材和第二线材对接时容易同心地配置(定心)，能够简单地得到闻精度的广品。本专利技术第五方面的，将在至少一方的前端部形成有检查用接触部且由融点不同的材料形成的第一线材及第二线材接合而构成检查用探头，其中，在所述第一线材和所述第二线材中材料的融点低的一方的所述接合面，形成由材料的融点比该线材高的材料构成的金属覆膜，将所述第一线材和所述第二线材对接，加热并进行焊接。据此，即使是因第一线材、第二线材的融点不同而难以直接焊接的情况下，通过在材料的融点低的一方的线材的接合面形成由材料的融点比该线材高的材料构成的金属覆膜，减小焊接部位的融点的差，也能够良好地进行焊接。本专利技术第六方面的，在第五方面的基础上，在所述第一线材的接合面及所述第二线材的接合面的一方形成凸部，并且在另一方形成与所述凸部卡合的凹部，将所述第一线材和所述第二线材以所述凸部及所述凹部卡合的方式对接，加热并进行焊接。据此，通过在第一线材、第二线材的接合面形成凸部及凹部，能够增大线材与金属覆膜的界面的面积，同时也能够增大金属覆膜与其它线材的焊接面积，因此能够提高第一线材和第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查用探头的制造方法，将在至少一方的前端部形成有检查用接触部的第一线材及第二线材接合而构成检查用探头，其特征在于，通过在将所述第一线材和所述第二线材对接的状态下向接合部位的外周面照射激光而进行激光焊接，并且使由所述激光对所述第一线材和所述第二线材中材料的融点高的一方赋予的能量比对材料的融点低的一方赋予的能量大。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.01.13 JP 2011-0049281.一种检查用探头的制造方法，将在至少一方的前端部形成有检查用接触部的第一线材及第二线材接合而构成检查用探头，其特征在于， 通过在将所述第一线材和所述第二线材对接的状态下向接合部位的外周面照射激光而进行激光焊接，并且使由所述激光对所述第一线材和所述第二线材中材料的融点高的一方赋予的能量比对材料的融点低的一方赋予的能量大。2.如权利要求1所述的检查用探头的制造方法，其特征在于， 在进行了所述激光焊接之后对焊接部的外周面进行研磨并且研磨至产品外径。3.—种检查用探头的制造方法，将在至少一方的前端部形成有检查用接触部的第一线材及第二线材接合而构成检查用探头，其特征在于， 通过在将所述第一线材和所述第二线材对接的状态下向接合部位的外周面照射激光而进行激光焊接， 在进行了所述激光焊接之后，对焊接部的外周面进行研磨并且研磨至产品外径。4.如权利要求1~3中任一项所述的检查用探头的制造方法，其特征在于， 在所述第一线材及所述第二线材的一方的端面形成凸部，在另一方的端面形成与所述凸部卡合并以所述第一线材和所述第二线材大致同心的方式进行引导的凹部。5.一种检查用探头的制造方法，将在至少一方的前端部形成有检查用接触部且由融点不同的材料形成的第一线材及第二线材接合而构成检查用探头，其特征在于， 在所述第一线材和所述第二线材中材料的融点低的一方的所述接合面，形成由材料的融点比该线材高的材料构成的金属覆膜， 将所述第一线材和所述第二线材对接，加热并进行焊接。6.如权利要求5所述的检查用探头的制造方法，其特征在于， 在所述第一线材的接合面及所述第二线材的接合面的一方形成凸部，并且在另一方形成与所述凸部卡合的凹部， 将所述第一线材和所述第二线材以所述凸部及所述凹部卡合的方式对接，加热并进行焊接。7.如权利要求5或6所述的检查用探头的制造方法，其特征在于， 所述金属覆膜由具有比所述第一线材的材料和所述第二线材的材料中融点低的材料更接近融点高的材料的融点的材料，通过溅射、镀敷、蒸镀中的任一种形成。8.—种检查用探头的制造方法，将在至少一方的前端部形成有检查用接触部且由融点不同的材料形成的第一线材及第二线材接合而构成检查用探头，其特征在于， 在所述第一线材和所述第二线材中材料的融点高的一方的所述接合面，形成由材料的融点比该线材低的材料构成的金属覆膜， 将所述第一线材和所述第二线材对接，加热并进行焊接。9.如权利要求8所述的检查用探头的制造方法，其特征在于， 在所述第一线材的接合面及所述第二线材的接合面的一方形成凸部，并且在另一方形成与所述凸...

【专利技术属性】
技术研发人员：六角正，笠原久芳，
申请(专利权)人：株式会社山景工程，六角正，
类型：
国别省市：