【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种压电体波谐振器，其特征在于，包括：多层结构；衬底，所述衬底的表面具有至少一个凹槽，所述多层结构覆盖所述至少一个凹槽，通过形成的至少一个空腔构成所述压电体波谐振器的声反射结构；其中，在每个空腔中，所述多层结构向该空腔的底部凹陷，且不与空腔的底部接触；或者，所述多层结构向远离该空腔的底部的方向凸起，凸起的高度大于或等于预定凸起高度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：庞慰，江源，张孟伦，张代化，张浩，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：
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