【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，涉及太阳能硅电池片生产设备领域，尤其涉及制作减少硅片表面反射的SiN薄膜设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感应器的信号输出端与继电器连接。本专利技术利用感应器采集信号，在出舟时控制风机开启，排放热量。而当舟臂在PECVD炉管内则不需要排放热量，自动关闭风机，节约能源。【专利说明】具有热排风机自动控制系统的PECVD设备
本专利技术涉及太阳能硅电池片生产设备领域，尤其涉及制作减少硅片表面反射的SiN薄膜设备。
技术介绍
PECVD即等离子体增强化学气相沉积设备，制作减少硅片表面反射的SiN薄膜。现有的PECVD设备包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置。这种结构的缺陷是:当石墨舟出舟时热排装置工作，当石墨舟入炉管时热排装置一直在工作，排风无控制，处于常开状态，耗电量大。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种减少耗电量的具有热排风机自动控制系统的PECVD设备。本专利技术的目的是这样实现的:具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器...
【技术保护点】
具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，其特征在于：所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感应器的信号输出端与继电器连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱守权，
申请(专利权)人：扬州鑫晶光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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