【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利公开了一种基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统。它采用比例分光镜把脉冲激光分为两路，一路经过散焦光路，另一路经过延时聚焦光路。经过散焦光路的第一路激光脉冲在样品靶材表面上预烧蚀产生一定直径的圆形平整表面，然后由经过延时聚焦光路的第二路激光脉冲在该平整表面上准确聚焦激发LIBS效应。该双脉冲散焦预烧蚀LIBS系统可有效消除传统LIBS中烧蚀孔效应的影响，从而提高LIBS探测的精度。【专利说明】一种基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统
本专利涉及一种激光光谱探测方法，尤其涉及一种基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱(Laser-1nduced breakdown spectroscopy,简称 LIBS)探测系统。
技术介绍
激光诱导击穿光谱(LIBS)探测技术是利用脉冲激光器发出的脉冲激光，经过聚焦透镜聚焦到样品，在聚焦点上获得高能量的脉冲激光，使样品烧蚀、蒸发、激发和电离化后形成高温、高压、高电子密度的等离子体火花，辐射出包含原子和离子特征谱线的光谱，可用于探测物质的元素组成。传统的LIBS探测方法利用低重频单脉冲激...
【技术保护点】
一种基于双脉冲散焦预烧蚀的激光诱导击穿光谱探测系统，它包括比例分光镜、固体脉冲激光器、光学延迟线、反射镜、倍频晶体、扩束镜、聚焦透镜、反射镜、双色镜、透镜、光纤光谱仪和计算机，其特征在于：固体脉冲激光器（2）发出波长1064nm的重复频率为10Hz的纳秒级脉冲激光，经过3比7比例分光镜（1）分成两路：第一路为散焦光路，穿过比例分光镜（1）的具有70%能量的第一路脉冲激光经过倍频晶体（7）后转变为波长为532nm的脉冲激光，经扩束镜A（8）扩束、聚焦透镜A（11）会聚，通过双色镜（13）打到样品靶材（15）上，聚集透镜A（11）的焦距大于它到样品靶材表面的距离，即处于散焦状态...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：万雄，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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