磁检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种磁检测装置，其在使多个传感器差动来进行磁场检测的情况下能够进行高精度的检测。在磁检测装置（10）中，一对传感器（12）的感磁部通过耦合部件（14）在磁路上串联耦合，所述耦合部件（14）由相对磁导率为100以上的磁性材料、具有构成所述感磁部的磁性材料的相对磁导率的1/100以上的相对磁导率的磁性材料、或者与磁传感器的感磁部材料相同的磁性材料构成，因此在两个传感器中被相等地施加环境磁场、磁背景噪声等外部磁场，并能够对其进行检测。另外，使测定用传感器（12）检测测定对象物（50）产生的磁场，使参照用传感器（12b）的输出进行差动，由此能够降低外部磁场的影响，仅高精度地检测测定对象物（50）产生的磁场。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种磁检测装置，其在使多个传感器差动来进行磁场检测的情况下能够进行高精度的检测。在磁检测装置（10）中，一对传感器（12）的感磁部通过耦合部件（14）在磁路上串联耦合，所述耦合部件（14）由相对磁导率为100以上的磁性材料、具有构成所述感磁部的磁性材料的相对磁导率的1/100以上的相对磁导率的磁性材料、或者与磁传感器的感磁部材料相同的磁性材料构成，因此在两个传感器中被相等地施加环境磁场、磁背景噪声等外部磁场，并能够对其进行检测。另外，使测定用传感器（12）检测测定对象物（50）产生的磁场，使参照用传感器（12b）的输出进行差动，由此能够降低外部磁场的影响，仅高精度地检测测定对象物（50）产生的磁场。【专利说明】磁检测装置
本专利技术涉及磁检测装置，特别涉及能够高精度地检测微小磁场的磁检测装置。
技术介绍
近年来，如检测活体细胞产生的磁信号(磁场)那样，要求能够高精度、例如通过高分辨率检测磁场的磁检测装置。在这样的状况中，例如提出了利用在对通电了高频率电流的非晶丝(丝状的非晶态合金)施加外部磁场时其阻抗发生变化的磁阻(MI ；Magneto-1mpedance)效果的磁阻传感器。例如，专利文献I所记载的磁传感器就是这样。根据这样的磁阻传感器，能够将微小的磁场变化捕捉为所述非晶丝的阻抗变化，所以能够进行分辨率高的磁场检测。另一方面，在对产生微小磁场的测定对象物进行测定的情况下，除了使用上述那样的分辨率高的传感器之外，还需要降低地磁等外部磁场的影响。为了降低外部磁场的影响，使多个传感器的输出差动来进行检测。即，在一方的传感器中检测测定对象物产生的磁场和外部磁场这两者，在另一方中只检测外部磁场。然后，通过两者的输出之差，能够仅得到所述测定对象物产生的磁场。现有技术文献专利文献1:国际公开第2005/019851号
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，如上所述，在使多个传感器工作的情况下，为了高精度地检测测定对象物产生的磁场，需要该多个传感器检测的外部磁场共同，同时需要一方的传感器检测测定对象物产生的磁场和外部磁场这两者而另一方的传感器只检测外部磁场。多个传感器只要接近就能够检测共同的外部磁场，但是在该情况下存在如下问题:在无论多个传感器的哪一个都有可能检测了测定对象物产生的磁场。如此，在使多个传感器差动来进行磁场检测的情况下，依然存在应改善的问题。本专利技术是以上述的情况为背景而完成的专利技术，其目的在于，提供一种磁检测装置，其在使多个传感器差动来进行磁场检测的情况下能够高精度地进行检测。用于解决问题的手段用于达到这样的目的的本申请第I专利技术是一种磁检测装置，具有:(a)—对磁传感器，其分别包含用于检磁的感磁部；和(13)长条状的稱合部件,其与该一对感磁部一起构成磁路，(C)该一对感磁部的感磁方向和该f禹合部件的长度方向一致到能够相等地检测在该一对感磁部共同施可的磁场，(d)该稱合部件由相对磁导率为100以上的磁性材料、具有构成所述感磁部的磁性材料的相对磁导率的I/100以上的相对磁导率的磁性材料、或者与磁传感器的感磁部材料相同的磁性材料构成，(e )使所述一对传感器的输出进行差动来测定磁。专利技术的效果根据所述第I专利技术，所述一对传感器的感磁部与由相对磁导率为100以上的磁性材料(具体而言，例如铁酸盐、坡莫合金、非晶态合金等矫顽力小的磁性材料等)、具有构成所述感磁部的磁性材料的相对磁导率的1/100以上的相对磁导率的磁性材料(具体而言，例如钴-铁-娃-硼合金(Co-Fe-S1-B合金)等)、或者与磁传感器的感磁部材料相同的磁性材料构成的所述耦合部件一起构成磁路，所以能够在所述一对传感器的两方中相等地施加环境磁场和/或磁背景噪声等外部磁场，并对其进行检测。另外，仅使所述一对传感器的一方检测测定对象物产生的磁场，使所述一对传感器的输出差动，由此能够降低外部磁场的影响，仅高精度地检测所述测定对象物产生的磁场。另外，本申请的第2专利技术的特征在于，在所述第I专利技术涉及的磁检测装置中，(a)所述耦合部件由多个耦合部件片构成，(b)该多个耦合部件片隔着所述耦合部件的接合部的截面积径以下的间隙或者紧贴地配设。如此一来，在所述耦合部件由多个耦合部件片构成，且没有将所述一对磁传感器在磁路上严密地串联的情况下，也能够使施加于这一对传感器的外部磁场平均化，能获得与所述第I专利技术相同的效果。另外，如此一来，在构成所述I个磁路的耦合部件由多个耦合部件片构成的情况下，能够选择性地设计该多个耦合部件片是否电连接。此外，在本说明书中，将“构成磁路的要素设为在一条磁路上磁通量连续”称为“在磁路上串联”。另外，本申请的第3专利技术的特征在于，在所述第2专利技术涉及的磁检测装置中，在所述间隙配设有相对磁导率为100以上的磁性体。如此一来，在所述耦合部件由多个耦合部件片构成，且没有将所述一对磁传感器在磁路上严密地串联的情况下，也能获得与所述第2专利技术相同的效果。另外，本申请的第4专利技术的特征在于，在所述第I专利技术涉及的磁检测装置中，所述一对传感器的感磁部和所述稱合部件由相同的材料一体构成。如此一来，因为在所述感磁部和所述耦合部件的特性上没有批次间的不均，均匀性增加，并且感磁部和耦合部件一体成形，所以易于制造。另外，本申请的第5专利技术的特征在于，在所述第I至第4专利技术涉及的磁检测装置中，所述一对传感器的感磁部隔着该感磁部的接合部的截面积径以下的间隙或者紧贴地配设。如此一来，因为I对传感器的间隔小，所以能够减小磁检测装置整体的大小。另外，本申请的第6专利技术的特征在于，在所述第I至第5专利技术涉及的磁检测装置中，具有通过磁蔽来屏蔽测定对象物和所述一对传感器的屏蔽单元。如此一来，因为将测定对象物和所述一对传感器通过磁蔽而屏蔽，所以外部磁场对一对传感器和测定对象物产生的磁场施加的影响进一步降低，能够进行更高精度的磁场检测。另外，本申请的第7专利技术的特征在于，在所述第I至第5专利技术涉及的磁检测装置中，具有由非磁性体的导电体构成、至少覆盖所述一对传感器的感磁部、且接地的覆盖部。如此一来，能够降低在感磁部带电的情况下产生的噪声等对测定结果的影响。另外，本申请的第8专利技术的特征在于，在所述第I至第5专利技术涉及的磁检测装置中，(a)所述一对传感器是磁阻传感器，(b)所述磁传感器的感磁部是非晶丝，(C)所述耦合部件是导电体，Cd)具有与该耦合部件电并联连接的由非磁性体的导电材料构成的并列导体。如此一来，能够增大在由非晶丝构成的感磁部中流动的电流量。另外，本申请的第9专利技术的特征在于，在所述第I至第5专利技术涉及的磁检测装置中，(a)所述一对传感器是磁阻传感器，(b)所述磁传感器的感磁部是多条非晶丝，(C)该多条非晶丝电并联连接。如此一来，因为耦合部件由多条非晶丝构成，所以能够增大在耦合部件中流动的电流量。另外，本申请的第10专利技术的特征在于，在所述第I至第5专利技术涉及的磁检测装置中，Ca)所述一对传感器是具有检测线圈的磁阻传感器，(b)所述磁传感器的感磁部是非晶丝，(C)在所述一对传感器的至少一方，与该非晶丝电绝缘且沿着该非晶丝配设有结晶金属丝。如此一来，因为能够使用所述结晶金属丝仅将电噪声分离来检测，所以通过从磁传感器的输出减去该电噪声，能够进行从磁传感器的输出除去了电噪声的高精度的测量。另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：内山刚，中山晋介，热田谕志，
申请(专利权)人：国立大学法人名古屋大学，富士设计科技有限公司，
类型：
国别省市：