【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及流量检测的
，尤其涉及一种。该温差式流量传感器，包括一基体、基体上构造的隔热横膈膜以及横膈膜上的加热电阻和测温电阻，所述基体的下方键合有一衬底，所述衬底与所述基体之间形成一个可引导流体流经所述横膈膜下方的微流道；与现有技术相比，本专利技术提供的温差式流量传感器，通过其基体与衬底之间形成的微流道，通过微沟道的导向作用，使横膈膜上下表面均有流体流过，增加了横膈膜表面的强迫对流换热面积，使得横隔膜的上下两面受到的流体冲击基本一致，这样，一方面提高了温差式流量传感器的检测精度，另一方面使横隔膜的上下两面受力均匀，不易损坏，提高了可靠性，延长了使用寿命。【专利说明】
本专利技术属于流体检测
，尤其涉及。
技术介绍
流量传感器是一种可检测流体的流速并将其转化为电压信号的器件。流量传感器目前有多种，可分为机械流量传感器、热流量传感器和电磁流量传感器等，温差式流量传感器是热式流量传感器的一种。由于温差式流量传感器具有无机械传动，无需压力补偿，尺寸小的优点，因而备受关注，具有强大的市场潜力，被业界认为是流量传感器市场的主要方向。...
【技术保护点】
温差式流量传感器，包括一基体和覆盖于基体上可检测流体流量的横膈膜，其特征在于，所述基体的下方键合有一衬底，所述衬底与所述基体之间形成一个可引导流体流经所述横膈膜下方的微流道。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：余柏林，余发红，
申请(专利权)人：深圳信息职业技术学院，
类型：发明
国别省市：
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