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本发明涉及流量检测的技术领域，尤其涉及一种温差式流量传感器及其制作方法。该温差式流量传感器，包括一基体、基体上构造的隔热横膈膜以及横膈膜上的加热电阻和测温电阻，所述基体的下方键合有一衬底，所述衬底与所述基体之间形成一个可引导流体流经所述横膈...
该专利属于深圳信息职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳信息职业技术学院授权不得商用。

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