一种金刚石切片制造技术

技术编号:946035 阅读:159 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术属于切割工具技术领域,包括切片机体和在切片机体一侧端面外延上电镀制成的金刚石切片刃部,二者成一体结构。本实用新型专利技术是在高精度的切片机体的端面外延上靠电镀法制成金刚石切片刃部,一体成型结构,没有了组装加紧使用切片造成的误差引起的切片跳动。一体金刚石切片的动平衡非常好,刀片的旋转速度可以达到30000转/分钟,可以大幅度提高加工效率和切割质量。切片刃部可以制作的很精细,表面粗糙度不大于0.5微米,切片厚度可以制造0.03毫米,大量节约切割的材料损耗,经济效益显著。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于切割工具
,特别涉及一种一体结构高速金刚石切片
技术介绍
由于金刚石具有超硬、耐磨特性,金刚石工具的使用寿命是其他普通工具的 几十倍,金刚石工具近些年在制造业得到广泛应用。在半导体材料的制造过程 中,需要将大块的材料切割成小块,所用的金刚石切片呈三体组装结构,金刚石切割片2和两个切割片固定加紧体1分别制造,然后在设备上同轴端面加紧3 使用,如图l、图2所示。由于金刚石切割片是采用配料热压成型的工艺制造, 它的表面平整度差(一般表面粗糙度高于2微米),圆周各部位的材料分布均匀 程度差,零件的动静平衡差,而且刀片的厚度不能制造的很薄, 一般大于0.5 毫米。由于是采用三体组装的结构,每个零件的精度和平衡性都对切割作业带 来影响,总体造成切割作业质量低(切割端面粗糙度大于5微米)、切割效率低 (由于刀片精度差,动平衡不好的限制,刀片的旋转速度不能高于5000转/分 钟)。由于刀片厚度大,在切割过程中浪费材料严重(对贵重的半导体材料尤其 突出)。
技术实现思路
本技术目的在于提供一种一体结构的高速金刚石切片, 一体金刚石切片 的动平衡非常好,切割质量较高。为达上述目的,本技术采用如下技术方案 一种金刚石切片,包括切片机体和在切片机体一侧端面外延上电镀制成的金刚石切片刃部,二者成一体 结构。所述的金刚石切片刃部由与机体粘连固定部分和伸出机体部分组成,二者厚度相等。本技术是在高精度的切片机体的端面外延上靠电镀法制成金刚石切片 刃部, 一体成型结构,没有了组装加紧使用切片造成的误差引起的切片跳动。一体金刚石切片的动平衡非常好,刀片的旋转速度可以达到30000转/分钟,可 以大幅度提高加工效率和切割质量。切片刃部可以制作的很精细,表面粗糙度 不大于0.5微米,切片厚度可以制造0.03毫米,大量节约切割的材料损耗,经 济效益显著。附图说明图1为现有分体结构截面示意图;图2为现有分体结构的侧面示意图;图3为本技术的截面示意图;图4为本技术的侧面示意图。具体实施方式实施例如图3图4所示的金刚石切片,包括切片机体4和在切片机体4一 侧端面外延上电镀制成的金刚石切片刃部7, 二者成一体结构。金刚石切片刃部 7由和机体粘连的内圈粘结固定部分6和外伸切片刃部5组成,二者是一次成型 的等厚体,直径方向的粘结长度和外伸切片刃长基本相等。机体设计成带有圆周外圆加紧9方式的圆柱,使用中采用中孔定位,端面定 位加紧8。外圆加紧9主要承担旋转扭矩作用力,加紧更牢靠。机体的动平衡加 工中更好保证,所有机体的尺寸和形位公差均小于0.004毫米,表面粗糙度小于0.2微米。切片机体4由高强度的轻质铝合金制造,在电镀前需进行铝脱脂,铝酸洗和防氧化处理,金刚石电解液包括金刚石微分子,结合剂,电镀液,镍 液,酸碱调节剂,湿润剂等。在高精度的切片机体4的端面外延上靠电镀法制成金刚石切片刃部7,可以 制作的很精细,表面粗糙度不大于0. 5微米,切片厚度b可以制造0.03毫米, 大量节约切割的材料损耗,经济效益显著。权利要求1. 一种金刚石切片,其特征在于,包括切片机体和在切片机体一侧端面外延上电镀制成的金刚石切片刃部,二者成一体结构。2、 如权利要求1所述的金刚石切片,其特征在于所述的金刚石切片刃部 由与机体粘连固定部分和伸出机体部分组成,二者厚度相等。专利摘要本技术属于切割工具
,包括切片机体和在切片机体一侧端面外延上电镀制成的金刚石切片刃部,二者成一体结构。本技术是在高精度的切片机体的端面外延上靠电镀法制成金刚石切片刃部,一体成型结构,没有了组装加紧使用切片造成的误差引起的切片跳动。一体金刚石切片的动平衡非常好,刀片的旋转速度可以达到30000转/分钟,可以大幅度提高加工效率和切割质量。切片刃部可以制作的很精细,表面粗糙度不大于0.5微米,切片厚度可以制造0.03毫米,大量节约切割的材料损耗,经济效益显著。文档编号B28D1/22GK201095168SQ200720129579公开日2008年8月6日 申请日期2007年8月17日 优先权日2006年12月31日专利技术者杨晋中, 岩 赵, 郭留希 申请人:郑州人造金刚石及制品工程技术研究中心本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种金刚石切片,其特征在于,包括切片机体和在切片机体一侧端面外延上电镀制成的金刚石切片刃部,二者成一体结构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:郭留希杨晋中赵岩
申请(专利权)人:郑州人造金刚石及制品工程技术研究中心
类型:实用新型
国别省市:41[中国|河南]

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