【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用来制备纳米硅粉的电弧放电?等离子体复合装置，其特征在于，包括电弧放电装置和等离子体发生器，所述电弧放电装置和等离子体发生器通过管道和阀门连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘国钧，杨小旭，沈晓东，
申请(专利权)人：苏州金瑞晨科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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