【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种应用于晶圆/光罩载具的气阀结构,其特征在于,包含有:?一下阀体,其具有一抵缘及多个第一栅片,其中所述抵缘自所述下阀体内缘底端向内凸伸,所述第一栅片自所述下阀体周缘向上凸伸,且相邻的所述第一栅片间形成有贯穿内外的一通孔,所述通孔与一导气阀形成气体流动;一上阀体,其具有多个第二栅片,所述第二栅片自所述上阀体周缘向下凸伸且对应所述下阀体的第一栅片,且相邻的所述第二栅片间设有对应所述第一栅片的通孔;一浮动阀块,其容设于所述下阀体内且贴抵于所述抵缘上;一弹性件,其设置于所述浮动阀块与上阀体间,所述下阀体底面具有一对接槽,且所述对接槽的内底面具有一能与导气阀间形成气体流动间隙的导气部。
【技术特征摘要】
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