一种超精密气体静压回转工作台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种超精密气体静压回转工作台。其包括径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副、轴向下气体静压轴承副、静压轴承座、转台基座、力矩电机定子、力矩电机转子、电机芯轴和圆光栅角位移传感器，转台基座上设有螺钉孔，径向气体静压轴承副、轴向上、下气体静压轴承副固定连接为一体，径向气体静压轴承副、静压轴承座和转台基座连接成一体，轴向上、下气体静压轴承副设置在静压轴承座内，力矩电机定子固定在转台基座上，力矩电机转子安装在电机芯轴上，电机芯轴固定在静压轴承副上，圆光栅角位移传感器安装在转台基座的台阶端面上。其解决了传统回转工作台运动副摩擦和发热的产生，阻隔零部件的振动，提高了径向和轴向回转精度和支承刚度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种超精密气体静压回转工作台，其特征在于：包括径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副、轴向下气体静压轴承副、静压轴承座、转台基座、力矩电机定子、力矩电机转子、电机芯轴和圆光栅角位移传感器，转台基座上设有螺钉孔，径向气体静压轴承副、轴向上气体静压轴承副和轴向下气体静压轴承副固定连接为一体，径向气体静压轴承副、静压轴承座和转台基座连接成一体，轴向上气体静压轴承副和轴向下气体静压轴承副设置在静压轴承座内，力矩电机定子固定在转台基座上，力矩电机转子安装在电机芯轴上，电机芯轴固定在静压轴承副上，圆光栅角位移传感器安装在转台基座的台阶端面上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵惠英，
申请(专利权)人：北京微纳精密机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：