【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种椭偏仪系统参数的优化方法，用于确定椭偏仪的最优的系统参数，其特征在于，该方法包括：（1）建立椭偏仪的系统模型，并将该椭偏仪系统模型整理成向量与向量点积的形式，从而得到包含椭偏仪系统参数的系统矩阵W；（2）计算该系统矩阵W在各个椭偏仪系统参数下的条件数；（3）计算每个系统参数下系统矩阵W的最大条件数与最小条件数的差值，并根据差值从大到小的顺序将对应的系统参数进行排序；（4）按照上述排序分别依次对椭偏仪的每个系统参数进行循环迭代优化，直至排列最靠前的系统参数的最小条件数值与前一次优化的该系统参数的最小条件数值的差值小于阈值，即完成优化，此时对应的各系统参数即为最优化的椭偏仪系统参数。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘世元，杜卫超，张传维，谷洪刚，李苏斌，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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