等离子体发生装置以及使用了该等离子体发生装置的清洗净化装置制造方法及图纸

技术编号：9361040 阅读：112 留言：0更新日期：2013-11-21 08:39

等离子体发生装置(1)具有容纳含水的液体(6)的液体容纳部(3)、容纳气体的气体容纳部(4)以及隔离壁部(3)，该隔离壁部将液体容纳部与气体容纳部隔开，形成有用于将气体容纳部中的气体引导到液体容纳部的气体通路(5a)。另外，具备被配置于气体容纳部的第一电极(10)和被配置成与液体容纳部中的液体相接触的第二电极(11)。并且，还具有向气体容纳部供给气体的气体供给部(9)、等离子体电源部(13)以及液体流入防止装置(控制部(14))，该液体流入防止装置防止液体经由气体通路从液体容纳部流入到气体容纳部。