【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种去胶设备的冷却和清扫装置，其特征在于，包括：冷却腔，与大气传送腔连通，所述冷却腔中设有多层腔体；吹扫装置，一端与外部气源连接，另一端设有多个吹气口，所述多个吹气口分散设置在各层腔体中；以及排气管，设置于所述冷却腔底部所述吹气口的下风口处。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘无忌，张东海，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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