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去胶设备的冷却和清扫装置制造方法及图纸
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下载去胶设备的冷却和清扫装置的技术资料
文档序号:9357590
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本发明公开了一种去胶设备的冷却和清扫装置,包括:冷却腔,与大气传送腔连通,所述冷却腔中设有多层腔体;吹扫装置,一端与外部气源连接,另一端设有多个吹气口,所述多个吹气口分散设置在各层腔体中;以及排气管,设置于所述冷却腔底部所述吹气口的下风口处...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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