用于制作包括TCO层的光伏装置的改进方法制造方法及图纸

本发明专利技术是针对一种用于制作光伏装置的方法，包括：在一个衬底上沉积一个透明导电氧化物（TCO）层，使用一套照射参数来使该TCO层暴露于激光照射，并且使用一套蚀刻参数来使该激光照射的TCO层暴露于一个蚀刻过程，其特征在于，选择这些照射参数和这些蚀刻参数以使得该TCO层的光雾百分比与沉积态的TCO层相比增加。此外，本发明专利技术是针对一种对于包含在350nm与1300nm之间的范围内的入射光波长具有至少20%的光雾百分比的TCO层。另外，本发明专利技术是针对一种包括这类TCO层的光伏装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：帕特丽夏·普罗多姆，埃里克·约翰逊，蒂埃里·埃默罗，皮尔·罗卡艾卡巴罗卡斯，
申请(专利权)人：艾思科集团有限公司，
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