用于玻璃衬底的裂片设备制造技术

技术编号:9310384 阅读:103 留言:0更新日期:2013-11-06 12:55
本文中提供一种用于玻璃衬底的裂片设备。所述裂片设备包含:裂片棒,其连接至线性驱动器;多个直线形衬套,其沿纵向安装在裂片棒上,且每个直线形衬套包含外部套管以及轴杆;多个缓冲气缸,其沿纵向安装在裂片棒上;以及裂片端部,其在一个方向上延伸且具有宽度预定的棒形状。每个所述缓冲气缸包含内部产生压力的中空气缸主体、容纳在气缸主体中的活塞以及连接至活塞的活塞杆。所述裂片端部在裂片棒之下沿裂片棒的纵向方向安置,且连接至活塞杆和轴杆,以便与玻璃衬底接触。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种裂片设备,用于沿划片线对安置在加工台上的玻璃衬底进行切割,其特征在于,包括:裂片棒,其连接至线性驱动器,以便上升或下降,且在一个方向上延伸并具有预定宽度;多个直线形衬套,其沿纵向安装在所述裂片棒上且每个所述直线形衬套包含外部套管以及可在所述外部套管之内沿直线滑动的轴杆;多个缓冲气缸,其沿纵向安装在所述裂片棒上,且每个所述缓冲气缸包含内部产生压力的中空气缸主体、容纳在所述气缸主体中的活塞以及连接至所述活塞的活塞杆;以及裂片端部,其在一个方向上延伸且具有宽度预定的棒形状,所述裂片端部在所述裂片棒之下沿所述裂片棒的纵向方向安置,且连接至所述缓冲气缸的所述活塞杆和所述直线形衬套的所述轴杆,从而与玻璃衬底接触并在所述裂片棒下降时向所述玻璃衬底施加冲击载荷。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢亨祥具滋瑢金圣撤朴源圭李昌夏
申请(专利权)人:三星康宁精密素材株式会社
类型:发明
国别省市:

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