【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种角锥棱镜调节定位装置，其特征在于，所述角锥棱镜调节定位装置包括：棱镜定位块，包括第一定位面及用于固定角锥棱镜的定位槽，所述角锥棱镜由所述定位槽固定后，所述角锥棱镜的光轴垂直于所述第一定位面，所述棱镜定位块还包括平行于所述角锥棱镜光轴的第二定位面及第三定位面，所述第二定位面和第三定位面相互垂直；定位板，包括垂直于所述角锥棱镜理想状态下光轴方向的主定位面，以及两个平行于所述角锥棱镜理想状态下光轴方向且相互垂直的侧定位面，对所述角锥棱镜进行定位时，所述棱镜定位块的第一定位面紧贴所述定位板的主定位面；两块定位块，分别为第一调节定位块、第二调节定位块，各自通过螺栓固定于所述侧定位面，且第一调节定位块和所述棱镜定位块的第二定位面接触，且第二调节定位块和所述棱镜定位块的第三定位面接触；两组调节垫片，夹设于所述定位块与侧定位面之间，通过改变调节垫片的厚度，用于从平行于所述主定位面的方向调节角锥棱镜位置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王凯，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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