振动片、振动装置以及电子设备制造方法及图纸

技术编号:9274535 阅读:104 留言:0更新日期:2013-10-24 22:48
本发明专利技术提供一种能够以较高的成品率进行制造并且可靠性优异的振动片以及振动装置,此外,还提供一种具备所涉及的振动装置的可靠性较高的电子设备。传感器元件(振动片)具备:基部(21);振动臂(22),其从基部(21)起被延伸出;驱动部(51),其被设置在振动臂(22)上,且具有第一电极层(511)、第二电极层(513)以及压电体层(512);配线(62),其从第二电极层(513)被引出,且具有沿着压电体层(512)的侧面而设置的部分(621);端子,其被设置在基部(21)上,且经由配线(62)而与第二电极层(513)电连接。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种振动片,其特征在于,具备:基部;振动臂,其从所述基部起被延伸出;第一压电体元件,其被设置在所述振动臂上,且具有第一下部电极层、第一上部电极层以及第一压电体层,所述第一上部电极层相对于所述第一下部电极层被设置在所述振动臂的相反侧,所述第一压电体层被设置在所述第一下部电极层与所述第一上部电极层之间;配线,其从所述第一上部电极层被引出,且具有沿着所述第一压电体层的侧面而设置的部分;端子,其被设置在所述基部上,且经由所述配线而与所述第一上部电极层电连接。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:舟川刚夫
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:

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