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本发明提供一种能够以较高的成品率进行制造并且可靠性优异的振动片以及振动装置，此外，还提供一种具备所涉及的振动装置的可靠性较高的电子设备。传感器元件(振动片)具备：基部(21)；振动臂(22)，其从基部(21)起被延伸出；驱动部(51)，其被...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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