洗净液组合物及基板的洗净方法技术

本发明专利技术是揭露一种洗净液组合物及基板的洗净方法。此洗净液组合物包含碱性化合物(A)、如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)、多羟基羧酸化合物(C)以及水(D)。在式(I)及式(2)中，EO为乙氧基；AO为PO及/或BO，PO为丙氧基，而BO为丁氧基；m为3～100的数；n为0～0.2×m的数；p为3～100的数；q为0至0.2×p的数；x为1或2；且y为1或2。此洗净液组合物的洗净力佳且消泡性佳，可有效洗净玻璃基板。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种洗净液组合物，包含：碱性化合物(A)；如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)；在式(I)及式(2)中，EO为乙氧基；AO为PO及/或BO，PO为丙氧基，且BO为丁氧基；m为3～100的数；n为0～0.2×m的数；p为3～100的数；q为0至0.2×p的数；x为1或2；且y为1或2；多羟基羧酸化合物(C)；以及水(D)。FDA00002920328000011.jpg

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡宇杰，
申请(专利权)人：奇美实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：