基于微机械悬臂梁电容式功率传感器的分频器及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于微机械悬臂梁电容式功率传感器的分频器及制备方法，第一CPW信号线和第二CPW信号线分别作为参考信号和反馈信号的输入端，经过一个二合一功合器连接到第三CPW信号线，第三CPW信号线上方的MEMS悬臂梁和传感电极在MEMS悬臂梁的锚区和传感电极的压焊块之间构成了MEMS悬臂梁电容式功率传感器，MEMS悬臂梁电容式功率传感器中的可变电容用于组成电容三点式压控振荡器，电容三点式压控振荡器的输出信号经过乘法器后接入到反馈信号的输入端，从而构成分频器回路。本发明专利技术与传统的分频器相比，省去了低通滤波器，占用空间小，集成度高，降低了直流损耗，能够进一步节约成本和减小尺寸。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于微机械悬臂梁电容式功率传感器的分频器，其特征在于：包括砷化镓衬底（1），设置在砷化镓衬底（1）上的地线、CPW信号线、功合器和MEMS悬臂梁电容式功率传感器，以及外接的电容三点式压控振荡器和乘法器，在砷化镓衬底（1）上定义一条对称轴线；所述地线包括上侧边地线（21）、下侧边地线（22）和一条公共地线（23），所述上侧边地线（21）和下侧边地线（22）分别设置在对称轴线的上侧和下侧，所述公共地线（23）位于称轴线上，所述上侧边地线（21）通过一个空气桥（10）与公共地线（23）连接，所述下侧边地线（22）通过一个空气桥（10）与公共地线（23）连接；所述功合器包括对称位于对称轴线两侧的两条A...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，王文岩，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：