基于微机械固支梁电容式功率传感器的锁相环及制备方法技术

本发明专利技术公开了基于微机械固支梁电容式功率传感器的锁相环及制备方法，包括衬底、设置在衬底上的共面波导信号线、两对MEMS固支梁结构、功合器、终端匹配电阻和MEMS固支梁结构电容式功率传感器，以及外接电容三点式压控振荡器。通过参考信号和压控振荡器输出信号之间的相位差就可以改变压控振荡器可变电容的大小，从而控制输出信号的频率，进而通过压控振荡器的反馈作用使整个电路达到锁相的目的。不但结构简单、新颖，易于模块化、集成化，而且控制压控振荡器的输入端为直流，相对于传统的锁相电路省去了环路滤波器，具有与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于微机械固支梁电容式功率传感器的锁相环，其特征在于：包括衬底（1）、设置在衬底（1）上的共面波导信号线（2）、地线（3）、两对MEMS固支梁结构、功合器、终端匹配电阻（9）和MEMS固支梁结构电容式功率传感器，以及外接电容三点式压控振荡器，在所述衬底（1）上定义一条对称轴线；?所述地线（3）以对称轴线为中心形成对称分布，包括对称分布于该对称轴线的两条侧边地线和一条位于对称轴线上的中心地线；所述两条侧边地线上各有一个对称分布的缺口；所述共面波导信号线（2）以对称轴线为中心形成对称分布，包括对称分布于该对称轴线的两条输入共面波导信号线和一条位于对称轴线上的输出共面波导信号线；所述两条输入共面波导...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，乔威，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：